| 講演名 | 2001/8/15 薄膜型SPV化学センサの動作解析 矢作 悟郎, 内田 秀和, 勝部 昭明, |
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| 抄録(和) | Si1icnon Sapphire(SOS)基板を用いた薄膜Si-SPV素子について実サンプルによるセンサ特性の測定と基適な素子設計の指針を探る手がかりとして計算機シミュレーションによるキャリア挙動の解析を行った。測定はSi膜厚、ドープ量の異なる3つのサンプルについて行い、バイアス特性と周波数特性を検討した。シミュレーションはモンテカルロ法を用いて励起キャリアの挙動を解析することとした。そのシミュレーションプログラムの改善として、より適応度の高いメッシュを自動生成させることを試みた。その結果、シミュレーションの精度と速度を向上させることが出来ることが分かった。また、光励起周期レベルの拡散の再現のために、時間ステップを拡大させることで演算量を清少させ、計算の高遠化を図った。その結果、およそ50倍の高速化が可能となった。 |
| 抄録(英) | We have evaluated basic characteristics of a Surface Photovoltage (SPV) sensor device using a Silicon on Sapphire (SOS) substrate. In order to improve sensitivity of SPV chemical sensor, we have measured photocurrent-bias voltage at various conditions. Additionally, We have analyzed behafior of carriers generated in a SPV device with a computer simulation based on a montecarlo method. In order to improve a simulation program, we took two methods. One is fitter mesh generated by a program. The result showed improvement in precision and speed of simulation. The other is that a time step in simulation was enlarged to reduce amount of calculation. The result showed about 50 times faster simulation. |
| キーワード(和) | 化学センサ / 表面光電圧法 / SOS基板 / モンテカルロ法 |
| キーワード(英) | chemical sensor / surface photovoltage / silicon on sapphire / montecarlo method |
| 資料番号 | OME2001-47 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2001/8/15(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 薄膜型SPV化学センサの動作解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Analysis of movement of thin type SPV chemical sensor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 化学センサ / chemical sensor |
| キーワード(2)（和/英） | 表面光電圧法 / surface photovoltage |
| キーワード(3)（和/英） | SOS基板 / silicon on sapphire |
| キーワード(4)（和/英） | モンテカルロ法 / montecarlo method |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 矢作 悟郎 / Goro Yahagi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 埼玉大学理工学部情報システム工学科 Department of Information and Computer Sciences, Saitama University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 内田 秀和 / Hidekazu Uchida |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 埼玉大学工学部電気電子システム工学科 Department of Electrical and Electronic Systems, Saitama University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 勝部 昭明 / Teruaki Katsube |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 埼玉大学理工学部情報システム工学科 Department of Information and Computer Sciences, Saitama University |
| 発表年月日 | 2001/8/15 |
| 資料番号 | OME2001-47 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 253 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |