| 講演名 | 1999/7/9 応力下での弾性表面波の伝搬特性と零温度特性基板への応用 山之内 和彦, 小谷 謙司, 小田川 裕之, 長 康雄, |
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| 抄録(和) | 本報告は、線膨張係数が小さい基板上に適当な膜厚の単結晶基板を接着した複合型基板を構成することにより、単結晶の弾性表面波の伝搬特性を保ちながら、温度特性を補償する基板の理論解析と実験結果について述べている。初めに、応力下のSAWの伝搬について、非線形弾性・圧電・誘電定数を考慮して理論計算を行い、この結果から、高結合・高安定となるSAWデバイス用基板を見いだす。次に実際に室温付近で接着を行ったデバイスを作製して温度特性の改善が確認された結果について述べる。 |
| 抄録(英) | In this paper,SAW bonded composite substrates with a large k^2, small TCF, low propagation loss and no dispersion using conventional bonders are investigated theoretically and experimentally. The propagation characteristics of SAW in the strained piezoelectric crystal using the higher-order elasticity theory have been analyzed. The theoretical results show zero TCF on LiNbO_3/SiO_2 substrates. At room temperature a relatively thin LiNbO_3 is firmly bonded to a glass material with a small thermal expansion coefficient by using ultra-violet rays stiffen bonder. The experimental results of LiNbO_3/glass substrate showed TCF of 19ppm/℃. The propagation propertis were almost the same as those of the single crystal. |
| キーワード(和) | 弾性表面波 / 応力下弾性表面波伝搬 / 高安定弾性表面波基板 / 接着複合材料 / 厚膜基板 |
| キーワード(英) | Surface Acoustic Wave / Temperature Stable Substrate / Composit Substrate / SAW propagation / Static Strain Materials |
| 資料番号 | OME99-48 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 1999/7/9(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 応力下での弾性表面波の伝搬特性と零温度特性基板への応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Theoretical Analysis of SAW Propagation Characteristics under the Strained Medium and Applications for High Temperature stable High Coupling SAW Substrates |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 弾性表面波 / Surface Acoustic Wave |
| キーワード(2)（和/英） | 応力下弾性表面波伝搬 / Temperature Stable Substrate |
| キーワード(3)（和/英） | 高安定弾性表面波基板 / Composit Substrate |
| キーワード(4)（和/英） | 接着複合材料 / SAW propagation |
| キーワード(5)（和/英） | 厚膜基板 / Static Strain Materials |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 山之内 和彦 / K. Yamanouchi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北工業大学電子工学科 Tohoku Institute of Technology, Sendai, Japan |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 小谷 謙司 / K. Kotani |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication,Tohoku University, Sendai, Japan |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 小田川 裕之 / H. Odagawa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication,Tohoku University, Sendai, Japan |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 長 康雄 / Y. Cho |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication,Tohoku University, Sendai, Japan |
| 発表年月日 | 1999/7/9 |
| 資料番号 | OME99-48 |
| 巻番号（vol） | vol.99 |
| 号番号（no） | 170 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |