| 講演名 | 1998/7/3 基本波を用いたUHF帯水晶振動子 石井 修, 岩田 浩一, 菅野 誠, 柴田 恒則, |
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| 抄録(和) | 基本波モードで動作するダイアフラム構造のUHF帯ATカット水晶振動子は周波数温度特性が用いる電極材料や電極膜厚と水晶振動部の板厚との比に大きく依存する傾向にある。本報では、電極材料を金、全面電極膜厚と水晶基板厚との比率を約9%、更に、主電極膜厚を60nmとすることで、温度範囲が-35℃～+85℃において周波数変化量が±15ppm以内で、等価抵抗値が33Ω、Q値が2, 300の基本波モードで発振する共振周波数622MHzの振動子を得た。更に、本振動子を用いてコルピッツ発振回路をベースとしたVCXOを構成し、周波数可変特性が±120ppm/2.5V±2V、位相雑音特性が離調周波数1kHzで-100dBc/Hzの特性が得られることを確認した。 |
| 抄録(英) | The UHF AT-cut crystal resonators operating in the fundamental mode were manufactured using both wet chemical etching technology with high etching rate and reactive ion etching technology with low etching rate for high-precision thickness adjustment in combination. The ratio of the film thickness of the reverse side gold electrode to the thickness of the crystal substrate(9%), together with the film thickness of the main gold electrode(60nm), creates a resonance at center frequency of 622 MHz with a favorable frequency temperature characteristic of frequency shifts within ±15 ppm at the temperature range from -35℃ to +85℃. Furthermore, the application of this resonator to the configuration of VCXO for the Colpitts oscillation circuit produced a frequency control characteristic of ±120ppm/+2.5V±2V and a phase noise characteristic of -100dBc/Hz at a offset frequency of 1 kHz. |
| キーワード(和) | UHF / 基本波モード / ATカット / 水晶振動子 / 周波数温度特性 / VCXO |
| キーワード(英) | UHF / Fundamental mode / AT-cut / Crystal resonator / Frequency temperature characteristics / VCXO |
| 資料番号 | US98-27,EMD98-19,CPM98-51,OME98-49 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 1998/7/3(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 基本波を用いたUHF帯水晶振動子 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | UHF Crystal Resonators Operating in the Fundamental Mode |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | UHF / UHF |
| キーワード(2)（和/英） | 基本波モード / Fundamental mode |
| キーワード(3)（和/英） | ATカット / AT-cut |
| キーワード(4)（和/英） | 水晶振動子 / Crystal resonator |
| キーワード(5)（和/英） | 周波数温度特性 / Frequency temperature characteristics |
| キーワード(6)（和/英） | VCXO / VCXO |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 石井 修 / Osamu ISHII |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東洋通信機株式会社中央研究所 Central Research Laboratories, Toyo Communication Equipment Co., Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 岩田 浩一 / Hirokazu IWATA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東洋通信機株式会社中央研究所 Central Research Laboratories, Toyo Communication Equipment Co., Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 菅野 誠 / Makoto SUGANO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東洋通信機株式会社中央研究所 Central Research Laboratories, Toyo Communication Equipment Co., Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 柴田 恒則 / Tsunenori SHIBATA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東洋通信機株式会社中央研究所 Central Research Laboratories, Toyo Communication Equipment Co., Ltd. |
| 発表年月日 | 1998/7/3 |
| 資料番号 | US98-27,EMD98-19,CPM98-51,OME98-49 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 164 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |