| 講演名 | 1998/6/26 環境計測用マイクロセンサの研究 垣沼 克好, 原 和裕, |
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| 抄録(和) | 環境計測を目的とした薄膜半導体マイクロセンサを試作した。マイクロセンサは、ダイヤフラム構造としたSi基板上に薄膜作製技術, IC製造技術, マイクロマシーニング技術を応用した工程で作製した。感応膜は、一層目にFe_2O_3+TiO_2(5mo1%)+MgO(4mo1%)薄膜, 二層目にSnO_2+V_2O_5(4mo1%)薄膜の多層構造とした。試作したセンサは、NO_xに対して高い感度を有し、花粉やカビ, 皮膚にも感度を有することが分かった。 |
| 抄録(英) | We have fabricated a microsensot for environmental measurement. It is fabricated on diaphragm on an Si substrate by using thin film technology, IC fabrication process, and micro-machining technique. The sensing layer has a double layer structure; the first layer is a thin-film composed of Fe_2O_3+TiO_2(5mo1%)+MgO(4mo1%) and the second layer is a thin film composed of SnO_2+V_2O_5(4mo1%). It is sensitive to NO_x as well as pollen, mold and human skin. |
| キーワード(和) | 環境計測 / マイクロセンサ / Fe_2O_3 / SnO_2 / NO_x / 花粉 |
| キーワード(英) | environmental measurement / microsensor / Fe_2O_3 / SnO_2 / NO_x / pollen |
| 資料番号 | CPM98-44,OME98-42 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 1998/6/26(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 環境計測用マイクロセンサの研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | study on a microsensor for environmental measurement |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 環境計測 / environmental measurement |
| キーワード(2)（和/英） | マイクロセンサ / microsensor |
| キーワード(3)（和/英） | Fe_2O_3 / Fe_2O_3 |
| キーワード(4)（和/英） | SnO_2 / SnO_2 |
| キーワード(5)（和/英） | NO_x / NO_x |
| キーワード(6)（和/英） | 花粉 / pollen |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 垣沼 克好 / Katsuyoshi Kakinuma |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京電機大学工学部 College of Engineering, Tokyo Denki University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 原 和裕 / Kazuhiro Hara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京電機大学工学部 College of Engineering, Tokyo Denki University |
| 発表年月日 | 1998/6/26 |
| 資料番号 | CPM98-44,OME98-42 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 155 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |