| 講演名 | 1998/6/26 液相用表面波デバイスとその液体センシングへの応用 内山 雅之, 斎藤 敦史, 神山 貴和, 野村 徹, |
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| 抄録(和) | SH (Shear horizontal)-mode SAWは液体中でも、ほとんどエネルギーを放射することがない為、液相用のセンサとして利用されている。本報告では、SH-mode SAWを用いて、金属ストリップからなる反射器とそれを利用したSAW共振器の基本特性を調べ、液体中でのセンシングを試みた。実験では、ストリップの数を変えた4つの反射器を製作し、グリセリン水溶液を負荷した時の、それぞれの反射・伝達特性を調べた。次に、この反射器を使い2-port SAW共振器を製作し同様の実験を行った。その結果、ごく少量の試料液体でのセンシングが可能で、その特性は液体の密度と粘性率の積に依存することが確かめられた。 |
| 抄録(英) | A SAW device utilizing shear horizontal surface acoustic waves (SH-mode SAWs) has been used for sensing applications in liquids. SH-mode SAWs have been excited on a 36°rotated Y-cut X-propagating LiTaO_3 (36° YX LiTaO_3) substrate, and 1/2 wavelength strip array and the resonator configuration have been used as a sensing elements in liquids. The sensitivity of the frequency, the Q value and S_11, S_12 for the viscosity of liquids have been measured. Experimental results showed that the Q value of the SH-mode SAWs resonator varied with the viscosity of the loaded sample liquid. |
| キーワード(和) | 弾性表面波 / 液体の音波物性 / SH-SAW / ストリップアレイ / 反射器 / 共振器 |
| キーワード(英) | SAW / acoustic properties / SH-SAW / stripe array / reflector / resonator |
| 資料番号 | CPM98-41,OME98-39 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 1998/6/26(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 液相用表面波デバイスとその液体センシングへの応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Sensing of acoustic properties of liquid using SH-mode SAW device |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 弾性表面波 / SAW |
| キーワード(2)（和/英） | 液体の音波物性 / acoustic properties |
| キーワード(3)（和/英） | SH-SAW / SH-SAW |
| キーワード(4)（和/英） | ストリップアレイ / stripe array |
| キーワード(5)（和/英） | 反射器 / reflector |
| キーワード(6)（和/英） | 共振器 / resonator |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 内山 雅之 / Masayuki UCHIYAMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 斎藤 敦史 / Atsushi SAITOH |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 神山 貴和 / Takakazu KAMIYAMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 野村 徹 / Tooru NOMURA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部通信工学科 Department of Communication Engineering, Faculty of Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 発表年月日 | 1998/6/26 |
| 資料番号 | CPM98-41,OME98-39 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 155 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |