| 講演名 | 1998/5/29 走査型プローブによるトンネル電流と表面電位の同時計測システム 真島 豊, 宮本 進一郎, 小山 裕, 岩本 光正, |
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| 抄録(和) | 我々はトンネル電流と表面電位を同時に計測するシステムを開発した。プローブは電解研磨して作製したタングステン針を用いた。このシステムでは針とサンプル間の距離dをピエゾに正弦波の電圧を印加することにより強制的に変化させている。針の振動の中心と基板間の距離は数nmから100nmとし、振幅は数nmとした。トンネル電流は、針の振動と同調して流れ、dが数nm程度まで近づいたとき流れる。一方、表面電位は針-基板間の表面電位差と静電容量の変化により流れる変位電流を計測することにより表面電位を検出する、いわゆるケルビン法により測定した。トンネル電流と表面電位の同時計測は、針を振動させた際の両者間の位相差を利用して実現した。また、針の先端曲率半径とdを見積もる方法についても述べる。 |
| 抄録(英) | A new simultaneous measuring system for tunneling current and surface potential has been developed. An electrochemically etched tungsten tip is used as a probe electrode. The distance (d) between a sample and the tip is changed sinusoidally with high precision. The tunneling current flows periodically in accordance with the vibration of the tip when d becomes as small as a few nm. The surface potential is measured using the principle of the Kelvin method in which the displacement current due to the presence surface potential and change in capacitance difference between the tip and the sample is detected. Simultaneous measurement of the tunneling current and the displacement current has been attained by utilizing their phase difference of a vibration of the tip. The method for determining the tip peak radius and d is also presented. |
| キーワード(和) | トンネル電流 / ケルビン法 / 走査型プローブ / 変位電流 / トンネルスペクトロスコピー |
| キーワード(英) | tunneling current / Kelvin method / scanning probe / Maxwell displacement current / scanning tunneling spectroscopy |
| 資料番号 | |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 1998/5/29(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 走査型プローブによるトンネル電流と表面電位の同時計測システム |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Tunneling Current and Surface Potential Simultaneous Measuring System using a Scanning Probe |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | トンネル電流 / tunneling current |
| キーワード(2)（和/英） | ケルビン法 / Kelvin method |
| キーワード(3)（和/英） | 走査型プローブ / scanning probe |
| キーワード(4)（和/英） | 変位電流 / Maxwell displacement current |
| キーワード(5)（和/英） | トンネルスペクトロスコピー / scanning tunneling spectroscopy |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 真島 豊 / Yutaka MAJIMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学工学部電子物理工学科 Department of Physical Electronics, Tokyo Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 宮本 進一郎 / Shin-ichiro MIYAMOTO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学工学部電子物理工学科 Department of Physical Electronics, Tokyo Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 小山 裕 / Yutaka OYAMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京工業大学工学部電子物理工学科 Department of Physical Electronics, Tokyo Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 岩本 光正 / Mitsumasa IWAMOTO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京工業大学工学部電子物理工学科 Department of Physical Electronics, Tokyo Institute of Technology |
| 発表年月日 | 1998/5/29 |
| 資料番号 | |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 92 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |