| 講演名 | 1994/6/20 ペリレン誘導体の分子線蒸着におけるビーム空間分布と薄膜の高次構造 蔵田 哲之, 渕上 宏幸, 久保田 繁, |
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| 抄録(和) | 新機能薄膜材料の創製のためには,薄膜における分子配向や結晶性などの高次構造の制御が必要である。その有力な薄膜作製方法である有機分子線蒸着法について,モデル物質としてペリレン誘導体(PTCDA)を用い,基礎的な検討を行った。分子の輸送過程に関係する分子ビームの空間分布について調べ,Kセルのるつぼ形状の変化によってその指向性を制御できることを明らかにした。また,薄膜作製時の基板温度と薄膜の構造の関係について検討し,作製時の基板温度が低いときは,PTCDA分子の平面が基板に平行に堆積し,結晶性は高くないが表面は平滑であり,屈折率の異方性が高い薄膜が得られた。しかし,基板温度を高くすると,結晶性は向上するが,平滑性が低下し屈折率異方性が減少する傾向となった。 |
| 抄録(英) | To create a new functional organic material,it is important to control the structure of the organic thin films.The organic molecular beam depostion method,one of the most suitable techniques for the fabricating well defined structure films have been investigated.The directivity have been estimated with a movable crystal sensor,and was able to be contoroled by a K-cell crucible parameter.The films deposited under the lower substrate temperature have shown the smooth surface and high anisotropy of refractive index regardless of poor crystallinity.On the other hand,Those deposited under the higher substrate temperature have shown the relatively rough surface and lower anisotropy of refractive index,regardless of the higher crystallinity. |
| キーワード(和) | 有機分子線蒸着 / 空間分布 / 分子配向薄膜 / 指向性 / 屈折率異方性 / 高次構造 |
| キーワード(英) | vacuum deposition / moleculer beam / higher order structure / anisotropy of refractive index / directivity / organic thin film |
| 資料番号 | OME94-12 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 1994/6/20(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ペリレン誘導体の分子線蒸着におけるビーム空間分布と薄膜の高次構造 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Spatial ditributions of molecilar beam and higher order structure of the films in the molecular beam deposition of perylene derivative. |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 有機分子線蒸着 / vacuum deposition |
| キーワード(2)（和/英） | 空間分布 / moleculer beam |
| キーワード(3)（和/英） | 分子配向薄膜 / higher order structure |
| キーワード(4)（和/英） | 指向性 / anisotropy of refractive index |
| キーワード(5)（和/英） | 屈折率異方性 / directivity |
| キーワード(6)（和/英） | 高次構造 / organic thin film |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 蔵田 哲之 / Tetsuyuki Kurata |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 三菱電機材料デバイス研究所 Materials & Electronic Devices Laboratory,Mitsubishi Electric Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 渕上 宏幸 / Hiroyuki Fuchigami |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 三菱電機材料デバイス研究所 Materials & Electronic Devices Laboratory,Mitsubishi Electric Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 久保田 繁 / Shigeru Kubota |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 三菱電機材料デバイス研究所 Materials & Electronic Devices Laboratory,Mitsubishi Electric Corporation |
| 発表年月日 | 1994/6/20 |
| 資料番号 | OME94-12 |
| 巻番号（vol） | vol.94 |
| 号番号（no） | 103 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |