| 講演名 | 1993/5/24 部分的水面キャスト法を用いた多チャンネルSAW化学センサ構築の基礎研究 斉藤 敦史, 後藤 洋子, 野村 徹, 安田 力, 中本 高道, 森泉 豊栄, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 表面弾性波(SAW)デバイスは、気相における化学センサとして用いることができる。高い周波数特性と多チャンネル構造を持つSAW遅延線を用いれば、高選択性のマルチガスセンサを実現させることができる。しかし、一般的に一つの基板上に設けられた多チャンネルパターンの各々の伝搬路上に異なるガス感応膜を塗布することは難しい。本報告では、いろいろなガス感応膜を任意の伝搬路上に塗布できる新しい分子膜塗布法について述べる。この方法は部分的水面キャスト法と呼ばれるものである。本方法は、台形状の枠を用いて水面を区切り、枠内に展開された膜物質が枠の上下運動によって圧縮し、枠の上端に置かれた基板に膜を付着させる方法である。ST-cut水晶のSAW共振器上にジアルキルポリイオンコンプレックスの2分子膜を数層付着させ、アルコール雰囲気に対するガスセンサ特性の測定に成功した。今回の実験より、複数の分子膜を持つ多チャンネルSAW化学センサの構築に応用できることが確認できた。 |
| 抄録(英) | Surface acoustic wave (SAW) devices can be used as vapor phase chemical sensors.If we make use of SAW devices with high frequency properties and multi-channel delay line structures,highly sensitive and multi gas sensors can be realized.However,it is generally difficult to deposit different gas sensitive films on the propagation paths of monolithic multi-channel SAW devices.This paper describes the new coating method by which several types of gas-sensitive molecular films can be coated on the paths.The method is called "water-surface partial casting method".It makes u se of the water surface segmented by a trapezoidal flame,and the molecular film spread in the flame is compressed by the vertical movement of the flame and deposited on the substrate placed on the flame top.Several bilayers of dialkyl polyion complex were coated on ST-cut quartz SAW resonators,and gas sensor characteristics to alcoholic vapor was successfully measured.It is suggested from the present experiments that the method can be applicable to fabrication of multi- channel SAW sensors with other kinds of molecular films. |
| キーワード(和) | SAWデバイス / LB膜 / 化学センサ / においセンサ / キャスト法 / 多チャンネルセンサ |
| キーワード(英) | SAW device / LB film / Chemical Sensor / Odor Sensor / Cast method / multi-channel sensor |
| 資料番号 | OME93-7 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
|---|---|
| 開催期間 | 1993/5/24(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 部分的水面キャスト法を用いた多チャンネルSAW化学センサ構築の基礎研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Multi-Channel SAW Chemical Sensor by Water Surface Partial Casting Method |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | SAWデバイス / SAW device |
| キーワード(2)（和/英） | LB膜 / LB film |
| キーワード(3)（和/英） | 化学センサ / Chemical Sensor |
| キーワード(4)（和/英） | においセンサ / Odor Sensor |
| キーワード(5)（和/英） | キャスト法 / Cast method |
| キーワード(6)（和/英） | 多チャンネルセンサ / multi-channel sensor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 斉藤 敦史 / Atushi Saitou |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学 Shibaura Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 後藤 洋子 / Youko Gotou |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学 Tokyo Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 野村 徹 / Tooru Nomura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学 Shibaura Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 安田 力 / Tsutomu Yasuda |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学 Shibaura Institute of Technology |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 中本 高道 / Takamiti Nakamoto |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東京工業大学 Tokyo Institute of Technology |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 森泉 豊栄 / Toyosaka Moriizumi |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東京工業大学 Tokyo Institute of Technology |
| 発表年月日 | 1993/5/24 |
| 資料番号 | OME93-7 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 61 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |