| 講演名 | 1995/10/20 シリコンマイクロマシニングによる機能集積型光スキャナの開発 池田 正晢, 後藤 博史, 矢田 恒二, |
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| 抄録(和) | 走査型光センサのマイクロ化を実現するために、シリコンマイクロマシニング技術とICプロセス技術を融合した、受光素子とピエゾ抵抗をシリコン光スキャナ振動子上に集積化した」哩2次元スキャナを開発した。本スキャナは、光ビームの2次元走査と、検出物体からの反射光の受光、および走査位置検出が可能であり、10×10×0.21mm3の形状で、30度以上の2次元光走査、0.5A爪の受光感度、および約1V/命g.の走査位置検出感度があり、走査式光センサの超小型化、高機能化が実現できる。 |
| 抄録(英) | The silicon micro optical scanner integrated with photo detector and piezoresistor has been debeloped by silicon micromachining techonorlgy and IC processing techonology. This optical scanner is capable of two dimensional optical scanning and photo intensity detectjon. The output of the photo detector is contsponded with the scanning location information detected by the integarated piezoresistor and that allows highly precise two dimensional optical sensing. The developed optica1 scanner has dimensions of 10 x 10 x 0.21 mm^3 and has more than 30 deg. two dimensional optical scanning area and 0.5 A/W photosensitivity. With this optical sensors, the super miniaturization and higher performance of the scanning type of optical sensors such as a bar-code reader, an area sensor, and an image sensor can be easily accomplished. |
| キーワード(和) | マイクロマシニング / スキャナ / 集積化 / シリコン / 2次元 / 圧電素子 |
| キーワード(英) | Micromachining / Scanner / lntegration / Silicon / Two-dimensional / Piezoelectric Actuator |
| 資料番号 | OME95-45 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 1995/10/20(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | シリコンマイクロマシニングによる機能集積型光スキャナの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Silicon Micromachined Two-dimensional Optic211 Scanner Integrated with Photo Detector and Piezoresistor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | マイクロマシニング / Micromachining |
| キーワード(2)（和/英） | スキャナ / Scanner |
| キーワード(3)（和/英） | 集積化 / lntegration |
| キーワード(4)（和/英） | シリコン / Silicon |
| キーワード(5)（和/英） | 2次元 / Two-dimensional |
| キーワード(6)（和/英） | 圧電素子 / Piezoelectric Actuator |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 池田 正晢 / Masaaki Ikeda |
| 第 1 著者 所属（和/英） | オムロン株式会社 中央研究所 OMRON Corporation, Central R&D Laboratory |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 後藤 博史 / Hiroshi Goto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | オムロン株式会社 中央研究所 OMRON Corporation, Central R&D Laboratory |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 矢田 恒二 / Tsuneji Yada |
| 第 3 著者 所属（和/英） | オムロン株式会社 中央研究所 OMRON Corporation, Central R&D Laboratory |
| 発表年月日 | 1995/10/20 |
| 資料番号 | OME95-45 |
| 巻番号（vol） | vol.95 |
| 号番号（no） | 333 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |