| 講演名 | 1995/10/20 バンプめっき用ポジ型フォトレジストの高解像化および耐めっき性の改良 斉藤 宏二, 駒野 博司, |
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| 抄録(和) | 表面実装技術に使用する厚膜ポジ型フォトレジストのノボラック樹脂の分子量による耐めっき性の向上と、現像方法によるプロフィルの改良を検討した。ノボラック樹脂の分子量を高くすることによって、従来、60℃の、めっき温度でレジストに発生したクラックが、70℃でも発生することなく、レジストのパタ-ン通りのめっきが可能となった。パドル現像において、現像途中で現像液を繰り返し数回取り替えることにより、所定の時間より現像時間を30%短縮でき、さらに、垂直な側壁を持ったレジストプロフイルを得ることができた。これらを改良することによって、厚さ20μmで20μm角のAuバンプの形成が可能になり、さらにそのめっき時間を半分にすることができた。 |
| 抄録(英) | The anti-cracking and the profile of thick layer positive photoresist, for high speed gold bump plating in the surface mounting technology, has been improved by selection of molecular weight of novolack resin and developing method. The conventional resist pattern lines were cracked frequently at the plating temperature under 60℃, on the other hand, these new resin with higher molecular weight resin were protected from being cracked and hold fine profiles at 70℃. Frequent replacement of developer during puddle development shorten the developing time to 70% and made fine pattern profile with straight vertical side walls. With this improvement, the square gold bumps 20 x 20 μm with 20μm in thickness has been sufficiently formed in the halftime of the conventional process. |
| キーワード(和) | ポジ型フォトレジスト / 表面実装技術 / バンプめっき |
| キーワード(英) | Positive Photoresist Surface Mounting Technology Bump Plating |
| 資料番号 | OME95-42 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 1995/10/20(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | バンプめっき用ポジ型フォトレジストの高解像化および耐めっき性の改良 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Photoresist with Anti-Cracked and Fine Profile for High Speed Gold Bump Plating |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ポジ型フォトレジスト / Positive Photoresist Surface Mounting Technology Bump Plating |
| キーワード(2)（和/英） | 表面実装技術 |
| キーワード(3)（和/英） | バンプめっき |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 斉藤 宏二 / Koji Saito |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京応化工業 開発本部 デイスプレイ材料課 Display Materials Section, Research & Development Department, Tokyo Ohka Kogyo Co., LTD. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 駒野 博司 / Hiroshi Komano |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京応化工業 開発本部 デイスプレイ材料課 Display Materials Section, Research & Development Department, Tokyo Ohka Kogyo Co., LTD. |
| 発表年月日 | 1995/10/20 |
| 資料番号 | OME95-42 |
| 巻番号（vol） | vol.95 |
| 号番号（no） | 333 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |