| 講演名 | 1997/1/28 プラズマ重合薄膜(PPE)を応用した蒸着重合ポリイミド薄膜の絶縁性の向上 平藤 耕一郎, 宮入 圭一, |
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| 抄録(和) | 蒸着重合ポリイミド(PI)の高温での電気絶縁性の向上を目的とし, プラズマ重合エチレン薄膜(PPE)との複合構造としたときの直流電気伝導を測定し, 電流の抑制効果を検討した. 単独PI薄膜との比較も含めて電気伝導の評価を行った. その結果, 単独PI薄膜においてみられる高電界の電流密度の急増はプラズマ重合エチレン-蒸着重合ポリイミド薄膜においては観測されず, 電極にAlまたAuを用いた電極試料についても調査したが電極効果は認められていない. |
| 抄録(英) | In order to improve the insulating properties of thin vapor deposition polymerized polyimide (VDP-PI)films, electrical conduction of laminated films(VDP-PI)laminated with plasma polymerized ethylene (PPE)has been investigated, and compared with the electrical conduction of thin VDP-PI films. Conduction currents in the laminated films are smaller in high electric field than those in thin VDP-PI film samples. The results obtained with Al and Au electrodes give almost the same magnitude of the currents. |
| キーワード(和) | 蒸着重合法 / ポリイミド薄膜 / プラズマ重合エチレン |
| キーワード(英) | vapor deposition / thin polymerization polyimide film / plasma polymerized ethylene |
| 資料番号 | OME96-93 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 1997/1/28(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | プラズマ重合薄膜(PPE)を応用した蒸着重合ポリイミド薄膜の絶縁性の向上 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Improvement of Insulating Properties of Thin Polyimide Films Laminating With Thin Plasma Polymerized Films(PPE) |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 蒸着重合法 / vapor deposition |
| キーワード(2)（和/英） | ポリイミド薄膜 / thin polymerization polyimide film |
| キーワード(3)（和/英） | プラズマ重合エチレン / plasma polymerized ethylene |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 平藤 耕一郎 / K Hirato |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 宮入 圭一 / K Miyairi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 発表年月日 | 1997/1/28 |
| 資料番号 | OME96-93 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 502 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |