| 講演名 | 1998/3/6 走査型プローブ顕微鏡に用いる金属探針の新規な作製方法 島田 康弘, 八木 隆行, 池田 勉, 高松 修, 松田 宏, 瀧本 清, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 我々は、シリコンのモールド上に金属を成膜し、これを基板上の金属パッドに圧着し、モールドから剥離して基板に転写することにより、走査型プローブ顕微鏡にもちいる金属探針を作製する方法を検討したので報告する。製造したPt探針の先端曲率半径は15nm以下であった。ピエゾ抵抗による検出部を形成したカンチレバー上に本検討による探針を形成し高分解能のAFM像と導電率像を得ることができた。 |
| 抄録(英) | We present a new method to fabricate sharp metal tips for scanning probe microscopy. The metal tip, which is deposited on a silicon mold, is attached by metal-to-metal bonding to a metal pad on a substrate, and peeled off the mold. By applying this method, a platinum tip with a radius curvature of less than 15nm was successfully fabricated.We succeeded to form a tip on a piezoresistive cantilever, and obtained high resolution topography and surface conductance images, respectively. |
| キーワード(和) | 走査型プローブ顕微鏡 / 金属探針 / 鋳型 |
| キーワード(英) | scanning probe microscopy / metal tip / silicon mold |
| 資料番号 | |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
|---|---|
| 開催期間 | 1998/3/6(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 走査型プローブ顕微鏡に用いる金属探針の新規な作製方法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A New Method to Fabricate Metal Tips for Scanning Probe Microscopy |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 走査型プローブ顕微鏡 / scanning probe microscopy |
| キーワード(2)（和/英） | 金属探針 / metal tip |
| キーワード(3)（和/英） | 鋳型 / silicon mold |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 島田 康弘 / Y Shimada |
| 第 1 著者 所属（和/英） | キャノン(株)中央研究所 Canon Research Center, Canon Inc. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 八木 隆行 / T Yagi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | キャノン(株)中央研究所 Canon Research Center, Canon Inc. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 池田 勉 / T Ikeda |
| 第 3 著者 所属（和/英） | キャノン(株)中央研究所 Canon Research Center, Canon Inc. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 高松 修 / O Takamatsu |
| 第 4 著者 所属（和/英） | キャノン(株)中央研究所 Canon Research Center, Canon Inc. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 松田 宏 / H Matsuda |
| 第 5 著者 所属（和/英） | キャノン(株)中央研究所 Canon Research Center, Canon Inc. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 瀧本 清 / K Takimoto |
| 第 6 著者 所属（和/英） | キャノン(株)中央研究所 Canon Research Center, Canon Inc. |
| 発表年月日 | 1998/3/6 |
| 資料番号 | |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 589 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |