| 講演名 | 1997/10/14 UV硬化型エポキシ樹脂を用いた高耐熱性マルチモード光導波路 圓佛 晃次, 疋田 真, 吉村 了行, 都丸 暁, 今村 三郎, 小林 潤也, 大野 透, |
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| 抄録(和) | 紫外線(UV)硬化型エポキシ樹脂を用いて低損失かつ高耐熱性を有するマルチモードポリマー光導波路をフォトリソグラフィーと反応性イオンエッチングにより作製した. 実装時のはんだプロセスを考慮し, 短期的な加熱試験を行い伝搬損失の変化を測定した. 波長830nmにおける導波路の伝搬損失の最小値は0.13dB/cmであり, 250℃・1時間の加熱試験後の損失増加はわずかであった. また, 材料の光硬化性を利用し, 直接露光法により導波路の作製が可能であることを示した. |
| 抄録(英) | We fabricated low loss multimode polymeric optical waveguides with high thermal stability using UV cured epoxy resins by photolithography and reactive ion etching. We also measured the increment in the propagation loss with a short storage heating test to take account of the soldering process. The minimum propagation loss of the waveguide at 830nm was 0.13dB/dm. There was almost no increment at 830nm after heating test at 250℃ for one hour. Furthermore we demonstrated the possibility of the waveguide fabrication by direct exposure using the UV curable property of the materials. |
| キーワード(和) | ポリマー先導波路 / UV硬化型エポキシ樹脂 / 耐熱性 |
| キーワード(英) | polymeric optical waveguides / UV cured epoxy resins / Thermal stability |
| 資料番号 | OME97-82-94 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 1997/10/14(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | UV硬化型エポキシ樹脂を用いた高耐熱性マルチモード光導波路 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Multimode Polymeric Optical Waveguides with High Thermal Stability Using UV Cured Epoxy Resins |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ポリマー先導波路 / polymeric optical waveguides |
| キーワード(2)（和/英） | UV硬化型エポキシ樹脂 / UV cured epoxy resins |
| キーワード(3)（和/英） | 耐熱性 / Thermal stability |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 圓佛 晃次 / Koji Enbutsu |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTT光エレクトロニクス研究所 NTT Opto-electronics Labs. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 疋田 真 / Makoto Hikita |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NTT光エレクトロニクス研究所 NTT Opto-electronics Labs. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 吉村 了行 / Ryoko Yoshimura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NTT光エレクトロニクス研究所 NTT Opto-electronics Labs. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 都丸 暁 / Satoru Tomaru |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NTT光エレクトロニクス研究所 NTT Opto-electronics Labs. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 今村 三郎 / Saburo Imamura |
| 第 5 著者 所属（和/英） | NTT光エレクトロニクス研究所 NTT Opto-electronics Labs. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 小林 潤也 / Junya Kobayashi |
| 第 6 著者 所属（和/英） | NTT光エレクトロニクス研究所 NTT Opto-electronics Labs. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 大野 透 / Tohru Maruno |
| 第 7 著者 所属（和/英） | NTT光エレクトロニクス研究所 NTT Opto-electronics Labs. |
| 発表年月日 | 1997/10/14 |
| 資料番号 | OME97-82-94 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 311 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |