| 講演名 | 1997/9/26 半導体探針を用いたSTSによる有機超薄膜の局所物性評価 青木 耕一, 飯塚 正明, 国吉 繁一, 工藤 一浩, 田中 國昭, |
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| 抄録(和) | 走査型プローブ顕微鏡 (SPM) は表面形状観察のみでなく、局所領域での電気物性量の測定を行うことができるという特徴をもつ。走査型トンネル顕微鏡 (STM) に付随した走査型トンネル分光法 (STS) では通常、金属探針が使用され、試料の局所状態密度に対応したトンネルスペクトルが得られる。半導体探針を使用したSTS測定を行った結果、探針の電子状態を強く反映したトンネルスペクトルが得られた。また、有機分子層として銅フタロシアニン (CuPc) 蒸着膜を導入したSTS測定ではCuPcの電子状態に関する情報を得ることができた。さらに、原子間力顕微鏡 (AFM) を利用した局所物性評価として、金属をコートした導電性AFMカンチレバーを使用した凹凸像とそれに対応した電位分布像の同時測定を行った結果について述べる。 |
| 抄録(英) | Scanning probe microscope (SPM) can be applied to measure not only the surface topography but also the local area characterization of organic ultra-thin films. Tunneling spectra strongly reflected to the electrical states of semiconductor tip and CuPc films were obtained by scanning tunneling spectroscopy (STS) using semiconductor tip. As a new method of local area characterization by atomic force microscope (AFM), we measured images corresponding voltage distribution and topography of the samples using conductive AFM cantilevers. |
| キーワード(和) | 走査型プローブ顕微鏡 / STM / STS / 半導体探針 / AFM |
| キーワード(英) | scanning probe microscope / STM / STS / semiconductor tip / AFM |
| 資料番号 | OME97-77 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 1997/9/26(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 半導体探針を用いたSTSによる有機超薄膜の局所物性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Local area characterization of organic ultra-thin films by STS using semiconductor tip |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 走査型プローブ顕微鏡 / scanning probe microscope |
| キーワード(2)（和/英） | STM / STM |
| キーワード(3)（和/英） | STS / STS |
| キーワード(4)（和/英） | 半導体探針 / semiconductor tip |
| キーワード(5)（和/英） | AFM / AFM |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 青木 耕一 / Koichi AOKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 千葉大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering, Chiba University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 飯塚 正明 / Masaaki IIZUKA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 千葉大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering, Chiba University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 国吉 繁一 / Shigekazu KUNIYOSHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 千葉大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering, Chiba University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 工藤 一浩 / Kazuhiro KUDO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 千葉大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering, Chiba University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 田中 國昭 / Kuniaki TANAKA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 千葉大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering, Chiba University |
| 発表年月日 | 1997/9/26 |
| 資料番号 | OME97-77 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 289 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |