| 講演名 | 1997/6/27 多層半導体薄膜によるNO_xセンサ 樋渡 忠夫, 原 和裕, |
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| 抄録(和) | 第一層目の電気伝導層としてFe_2O_3+TiO_2(5mol%)+MgO(4mol%)を、第二層目のガス検出層としてSnO_2+Pd(4mol%)を用いて作成した多層薄膜ガスセンサのNO_xに対するガス感度および諸特性の検討を行った。第二層目のSnO_2に添加物として用いたPdは、NO_xに対するガス感度を向上させることが確認された。このセンサはNOとNO_2の両者に感度を示し、最低検出濃度は250℃でNOとNO_2に対して数ppmであった。寿命試験の結果、NOに対するガス感度の若干の経時的な変化が確認された。しかしながら、3ヶ月程度まではヒートクリーニングによって良好な感度を得られることがわかった。 |
| 抄録(英) | We have developed NO_x sensors using multi-layer semiconducting thin-film. These sensors have a double layer structure composed of metal oxides; the first layer is Fe_2O_3-based thin film which serves as a current conduction region and the second layer is SnO_2-based thin film which is concerned with adsorption, reaction and desorption of gases. The sensors are found to be sensitive to both NO and NO_2 gases. By doping Pd(4mol%) to SnO_2 layer, the sensitivity increases. These sensors detects NO_x at a concentration as low as a few ppm at a relatively low temperature of 250℃. The sensors work for 3months without deterioration by ocasional heat cleaning. |
| キーワード(和) | NO_xセンサ / ガスセンサ / 薄膜 / Fe_2O_3 / SnO_2 |
| キーワード(英) | NO_x sensor / gas sensor / thin-film / Fe_2O_3 / SnO_2 |
| 資料番号 | CPM97-38 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 1997/6/27(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 多層半導体薄膜によるNO_xセンサ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | NO_x sensors using multi-layer semiconducting thin-film |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | NO_xセンサ / NO_x sensor |
| キーワード(2)（和/英） | ガスセンサ / gas sensor |
| キーワード(3)（和/英） | 薄膜 / thin-film |
| キーワード(4)（和/英） | Fe_2O_3 / Fe_2O_3 |
| キーワード(5)（和/英） | SnO_2 / SnO_2 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 樋渡 忠夫 / Tadao Hiwatari |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京電機大学 工学部 College of Engineering, Tokyo Denki University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 原 和裕 / Kazuhiro Hara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京電機大学 工学部 College of Engineering, Tokyo Denki University |
| 発表年月日 | 1997/6/27 |
| 資料番号 | CPM97-38 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 144 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |