講演名 2000/9/15
サブ100nmに向けたModeling & simulationの挑戦
小谷 教彦,
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抄録(和) IT(Information Technology)の基礎となるLSIの性能向上のために、デバイス構造の微細化が加速されようとしている。テクノロジーノード100nmが目前に迫って来るにつれて、設計とプロセスを一体化として最適設計しなければ、巨大化する回路のレイアウト設計が不可能になるという危機感が高まってきた。プロセス-設計の一体化には、プロセスが完成していない段階においてプロセス情報を取得する技術と、それを設計に有効に生かす設計手法、設計システムが必要となる。設計の早い段階からプロセス情報が必要になるにつれ、シミュレーションへの期待が高まっている。シミュレーションはその土台がモデル、アルゴリズムであるため、モデリングとそのプログラム化としてのシミュレータの双方を考える必要がある。サブ100nmのLSI設計に必要なプロセス情報を取得するためには、多くの新規モデル、数値計算技術に関する研究・開発と成果をオープンに評価できるプラットホームプログラム、さらにはこれらの研究・開発を可能にする環境整備への挑戦が必要である。
抄録(英) The miniaturization of device structure for LSIs that are the key components of information technology(IT)is going to be accelerated. As the technology node of 100nm becomes realistic, it is considered that the development of huge integrated LSIs becomes impossible without the simultaneous optimization of design and process. Therefore the technology and the design system for taking the process information prior to the process fixture and using them to design are needed. Process information is needed at the early stage of design, so that simulation is desired to take the information as early as possible. Since simulation is based on theories and algorithme, we have to consider both modeling and simulator. Many challenges should be tried not only about new physical and chemical models, numerical calculation, and software platform to verify the results of research and development but also about creating circumstances for research and development.
キーワード(和) シミュレーション / モデリング / プロセスシミュレータ / デバイスシミュレータ / 回路シミュレータ / 装置シミュレータ / コンパクトモデル
キーワード(英) simulation / modeling / process simulator / device simulator / circuit simulator / equipment simulator / compact model
資料番号 VLD2000-62,SDM2000-135
発行日

研究会情報
研究会 VLD
開催期間 2000/9/15(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 VLSI Design Technologies (VLD)
本文の言語 JPN
タイトル(和) サブ100nmに向けたModeling & simulationの挑戦
サブタイトル(和)
タイトル(英) Challenges on Modeling & Simulation for Sub-100nm Technology Node
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) シミュレーション / simulation
キーワード(2)(和/英) モデリング / modeling
キーワード(3)(和/英) プロセスシミュレータ / process simulator
キーワード(4)(和/英) デバイスシミュレータ / device simulator
キーワード(5)(和/英) 回路シミュレータ / circuit simulator
キーワード(6)(和/英) 装置シミュレータ / equipment simulator
キーワード(7)(和/英) コンパクトモデル / compact model
第 1 著者 氏名(和/英) 小谷 教彦 / Norihiko KOTANI
第 1 著者 所属(和/英) 三菱電機(株)ULSI技術開発センター
ULSI Development Center, Mitsubishi Electric Co.
発表年月日 2000/9/15
資料番号 VLD2000-62,SDM2000-135
巻番号(vol) vol.100
号番号(no) 294
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日