講演名 1997/9/26
モンテカルロシミュレーションによるHEMT構造中の2次元電子ガスのself-consistentな解析
深田 孝司, 谷野 憲之, 仲里 昌明, 神山 泰治,
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抄録(和) 実空間上でSchrodinger方程式とPoisson方程式をself-consistentに解くことが可能なモンテカルロデバイスシミュレータを開発した. 2次元電子と3次元電子の両方を散乱を含め統一的に扱い, 2次元電子については全てのバレーとそのサブバンドを取り扱うことができる. 波動関数計算用に新たに細かいメッシュを導入して, 精度の向上を図った. 本シミュレータをHEMT(AlGaAs/InGaAs/GaAs)に適用した結果, Schrodinger方程式とPoisson方程式の連成計算が正しく収束し, 期待通りチャネル内の2次元電子が3次元電子へ移行することを確認した.
抄録(英) We have developed the Monte Carlo device simulator which can solve Schrodinger and Poisson equations self-consistently in real space. Both two-dimensional and three-dimensional electrons can be simulated by using the same algorithm including scattering. For two-dimensional electrons, all valleys and those subband energy are taken into account. The wave functions can be accurately calculated by adopting extra fine mesh. By using HEMT(AlGaAs/InGaAs/GaAs) as a demonstration, it was confirmed that the simultanous calculation of Schrodinger equation and Poisson equation converged correctly and it was observed that two-dimensional electrons in channel transfered to three-dimensional electrons as an expectation.
キーワード(和) 2次元電子ガス / self-consistency / HEMT / モンテカルロ法 / デバイスシミュレーション
キーワード(英) Two-dimensional electron gas / self-consistency / HEMT / Monte Carlo simulation / Device simulation
資料番号 VLD97-59,ED97-97,SDM97-118,ICD97-134
発行日

研究会情報
研究会 VLD
開催期間 1997/9/26(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 VLSI Design Technologies (VLD)
本文の言語 JPN
タイトル(和) モンテカルロシミュレーションによるHEMT構造中の2次元電子ガスのself-consistentな解析
サブタイトル(和)
タイトル(英) A Self-Consistent Analysis of Two-Dimensional Electron Gas in HEMT structure using Monte Carlo Simulation
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 2次元電子ガス / Two-dimensional electron gas
キーワード(2)(和/英) self-consistency / self-consistency
キーワード(3)(和/英) HEMT / HEMT
キーワード(4)(和/英) モンテカルロ法 / Monte Carlo simulation
キーワード(5)(和/英) デバイスシミュレーション / Device simulation
第 1 著者 氏名(和/英) 深田 孝司 / T. Fukada
第 1 著者 所属(和/英) (株)富士総合研究所解析技術第1部
Computational Engineering I, Fuji Research Institute Corporation
第 2 著者 氏名(和/英) 谷野 憲之 / N. Tanino
第 2 著者 所属(和/英) 三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所
Optoelectric and Microwave Devices Research Laboratory, Mitsubishi Electric Corporation
第 3 著者 氏名(和/英) 仲里 昌明 / M. Nakazato
第 3 著者 所属(和/英) (株)富士総合研究所解析技術第1部
Computational Engineering I, Fuji Research Institute Corporation
第 4 著者 氏名(和/英) 神山 泰治 / Y. Kohyama
第 4 著者 所属(和/英) (株)富士総合研究所解析技術第2部
Computational Engineering II, Fuji Research Institute Corporation
発表年月日 1997/9/26
資料番号 VLD97-59,ED97-97,SDM97-118,ICD97-134
巻番号(vol) vol.97
号番号(no) 269
ページ範囲 pp.-
ページ数 8
発行日