| 講演名 | 1997/9/25 「半導体製造プロセス大規模シミュレーション実験(Virtual Wafer Fab.)の展開」 : TCADドリブンECADによる効率的開発支援システムの構築 蒲原 格, Strachan Andy, Mueller Stephan, Pesic Ivan, |
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| 抄録(和) | 半導体製造プロセス/デバイスのシミュレーション実験を効率的に実行する仮想試作システムvwfが必要である. これまでの経緯と実現したキー技術, および適用例について述べる. さらに, LSI開発フローの中へ展開するための拡張部分について説明し, 今後必要なことを議論する. 1.commercialシミュレータの過去と現状 2.vwfの思想と, 適用カテゴリ 3.vwfの実例 4.TCADドリブンECADとLSI開発フローの各項目を含む. |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | 半導体製造プロセス / デバイス / シミュレーション / TCAD / 仮想試作 / CAD / LSI / MOSFET |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | VLD97-51,ED97-89,SDM97-110,ICD97-126 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD |
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| 開催期間 | 1997/9/25(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | VLSI Design Technologies (VLD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 「半導体製造プロセス大規模シミュレーション実験(Virtual Wafer Fab.)の展開」 : TCADドリブンECADによる効率的開発支援システムの構築 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 半導体製造プロセス |
| キーワード(2)（和/英） | デバイス |
| キーワード(3)（和/英） | シミュレーション |
| キーワード(4)（和/英） | TCAD |
| キーワード(5)（和/英） | 仮想試作 |
| キーワード(6)（和/英） | CAD |
| キーワード(7)（和/英） | LSI |
| キーワード(8)（和/英） | MOSFET |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 蒲原 格 / Itaru Kamohara |
| 第 1 著者 所属（和/英） | シルバコジャパン Silvaco International |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | Strachan Andy / Andy Strachan |
| 第 2 著者 所属（和/英） | シルバコジャパン Silvaco International |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | Mueller Stephan / Stephan Mueller |
| 第 3 著者 所属（和/英） | シルバコジャパン Silvaco International |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | Pesic Ivan / Ivan Pesic |
| 第 4 著者 所属（和/英） | シルバコジャパン Silvaco International |
| 発表年月日 | 1997/9/25 |
| 資料番号 | VLD97-51,ED97-89,SDM97-110,ICD97-126 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 268 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |