| 講演名 | 1995/10/27 光交換集積回路のレーザ描画による超微細作成における制御法 後藤 信夫, 宮崎 保光, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 音響光学素子からなるマトリックススイッチ等の光集積回路素子において素子間および波長間のクロストーク低減、挿入損失低減のためには導波路パターニングの高精度化が不可欠である。本報告では,ステッピングモータ駆動の簡易型レーザ描画装置においてマスクパターン作製精度向上をめざした検討を行う。xyステージのゆらぎ、振動の計測を行い機械的特性を明らかにする。次に,フィードバック制御の基礎として、PIDフィードバック制御によるステージ駆動を行い、変位計測の分解能である±40nm以内の精度でパターニングの制御ができることを実験的に示し,さらに±5nm程度以下の精度の実現するための検討を行う。 |
| 抄録(英) | Precise patterning of optical waveguides is required in integrated-optic circuits such as acousto-optic matrix switches in order to reduce crosstalks and insertion losses. In this paper, an improvement of photomask patterning is discussed in laser drawing system with stepping motors. Mechanical fluctuation and vibration in xy-stages are experimentally clarified. A PID feedback control of the stages improved the patterning accuracy within±40nm, which is limited by the resolution of deviation measurement. Also, we discuss methods for realizing an accuracy of±5nm. |
| キーワード(和) | レーザ描画 / 微細加工 / 光集積回路 / 音響光学効果 / 光スイッチ / ステッピングモータ |
| キーワード(英) | Laser drawing / Precise fabrication / Integrated-optics / Acousto-optic effect / Optical switch / stepping motor |
| 資料番号 | OCS95-80 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OCS |
|---|---|
| 開催期間 | 1995/10/27(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optical Communication Systems (OCS) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 光交換集積回路のレーザ描画による超微細作成における制御法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Precise Control Method in Laser Drawing System for Patterning of Integrated-Optic Switching Circuits |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | レーザ描画 / Laser drawing |
| キーワード(2)（和/英） | 微細加工 / Precise fabrication |
| キーワード(3)（和/英） | 光集積回路 / Integrated-optics |
| キーワード(4)（和/英） | 音響光学効果 / Acousto-optic effect |
| キーワード(5)（和/英） | 光スイッチ / Optical switch |
| キーワード(6)（和/英） | ステッピングモータ / stepping motor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 後藤 信夫 / Nobuo GOTO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 工学部 Toyohashi University of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 宮崎 保光 / Yasumitsu MIYAZAKI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学 工学部 Toyohashi University of Technology |
| 発表年月日 | 1995/10/27 |
| 資料番号 | OCS95-80 |
| 巻番号（vol） | vol.95 |
| 号番号（no） | 343 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |