| 講演名 | 1996/10/31 重み付けEB露光法によるDFBレーザの発振波長精密制御 室谷 義治, 中村 隆弘, 奥田 哲朗, 山田 博仁, 鳥飼 俊敬, |
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| 抄録(和) | 光波ネットワークで重要となる, 発振波長が精密に制御されたDFBレーザの回折格子形成方法として, 電子照射量重み付けEB露光法(WAVE: Weighted-dose Allocation Variable-pitch EB-lithogaphy)を提案した. このWAVE法と高均一MOVPE成長を組み合わせることにより, 多波長DFBレーザアレイを作製しウェハ面内での波長均一性として標準偏差0.37nmを得た. sさらに本露光方法を用いて, DFBレーザの共振器方向の電界強度分布を平坦化できるチャープ回折格子を有するDFBレーザを作製した. |
| 抄録(英) | Precise wavelength control of multiple-wavelength DFB laser diode arrays were achieved using novel weighted-dose allocation variable-pitch EB-lithography (WAVE). By employing this method and highly-uniform MOVPE, multiple-wavelength λ/4-shifted DFB LD arrays with precisely controllable wavelength were successfully demonstrated. The standard deviation of the wavelength was as low as 0.37 nm for 2-inch wafers. Furthermore, chirped grating DFB LDs which expected to have uniform longitudinal electric field distribution along the cavity were also demonstrated. |
| キーワード(和) | EB露光 / DFBレーザ / 波長制御 / 回折格子 / WDM |
| キーワード(英) | electron-beam lithography / DFB laser diode / wavelength control / grating / WDM |
| 資料番号 | OSC96-49,OPE96-99,LQE96-100 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OCS |
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| 開催期間 | 1996/10/31(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optical Communication Systems (OCS) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 重み付けEB露光法によるDFBレーザの発振波長精密制御 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Precise Wavelength Control of DFB LDs by Weighted-dose Allocation Variable-pitch EB-lithography |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | EB露光 / electron-beam lithography |
| キーワード(2)（和/英） | DFBレーザ / DFB laser diode |
| キーワード(3)（和/英） | 波長制御 / wavelength control |
| キーワード(4)（和/英） | 回折格子 / grating |
| キーワード(5)（和/英） | WDM / WDM |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 室谷 義治 / Yoshiharu MUROYA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NEC関西エレクトロニクス研究所 Kansai Electronics Res. Lab., NEC Corp. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中村 隆弘 / Takahiro NAKAMURA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NEC関西エレクトロニクス研究所 Kansai Electronics Res. Lab., NEC Corp. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 奥田 哲朗 / Tetsuro OKUDA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NEC関西エレクトロニクス研究所 Kansai Electronics Res. Lab., NEC Corp. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 山田 博仁 / Hirohito YAMADA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NEC関西エレクトロニクス研究所 Kansai Electronics Res. Lab., NEC Corp. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 鳥飼 俊敬 / Toshitaka TORIKAI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | NEC関西エレクトロニクス研究所 Kansai Electronics Res. Lab., NEC Corp. |
| 発表年月日 | 1996/10/31 |
| 資料番号 | OSC96-49,OPE96-99,LQE96-100 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 334 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |