| 講演名 | 1996/10/31 多結晶シリコンと石英との交互多層膜から成る積層形偏光分離素子 室 幸市, 白石 和男, 松村 和仁, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 多結晶シリコンと石英から成る新しい積層形偏光分離素子を提案した. 長波長帯での多結晶シリコンの低損失性と高屈折率特性を利用している. 作製はシリコンをターゲットとした高周波スパッタリング法を使用し, 基板温度を800℃付近の高温にして多結晶シリコン膜を得ている. 低屈折率層には石英を用い, 両者の交互多層膜化はスパッタリングガス(Ar)への酸素の供給/停止の切り換え操作により行った. 酸素ガスの制御のみで多層化できるため, 機械的可動部が無く, 高速積層や超多層化が可能であるほか, 塵埃発生の抑制も期待できる. 偏光分離素子を試作した結果, 波長1.55μmで偏光分離角21゜を得た. これは方解石やルチルの偏光分離特性の4倍近い値である. 本素子は1.3μm帯でも使用できる可能性がある. 多層膜の作製時に通常問題となる積層膜界面の微小な凹凸についても検討し, 積層の際には石英層が多結晶シリコン膜の表面微小ラフネスを平滑化する作用をしていることを見いだした. |
| 抄録(英) | We proposed a new laminated polarization splitters that consist of alternately laminated poly-Si and silica layers. Multilayers are deposited onto a silica substrate by use of the rf sputtering method, in which the substrate is heated up to a temperature or 800℃. Poly-Si and silica films are deposited by use of Ar and a mixture of Ar and oxigen sputtering gasses, respectively. The deposition can be done by only controlling oxigen inclusion into the sputtering gas. The fabrication method has features, such as simple, speedy, and needs no mechanical movement in the process chamber. The fabricated polarization splitter has a beam splitting angle as large as 21°at the wavelength 1.55 μm, which is roughly 4 times larger than that of rutile or calcite. The splitter would be applicable to the wavelength region 1.3 μm. It has also been found that a surface of a laminated films is smooth neverthless surfaces of poly-Si layers are relatively rough, which is due to migration effects of silica. |
| キーワード(和) | 偏光子 / 積層形偏光分離素子 / 多結晶シリコン / スパッタリング |
| キーワード(英) | polarizer / laminated polarization splitter / poly-silicon / sputtering |
| 資料番号 | OSC96-43,OPE96-93,LQE96-94 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OCS |
|---|---|
| 開催期間 | 1996/10/31(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optical Communication Systems (OCS) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 多結晶シリコンと石英との交互多層膜から成る積層形偏光分離素子 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Laminated polarization splitters consist of poly-silicon and silica layers |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 偏光子 / polarizer |
| キーワード(2)（和/英） | 積層形偏光分離素子 / laminated polarization splitter |
| キーワード(3)（和/英） | 多結晶シリコン / poly-silicon |
| キーワード(4)（和/英） | スパッタリング / sputtering |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 室 幸市 / Kouichi Muro |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学工学部 Faculty of Engineering, Utsunomiya University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 白石 和男 / Kazuo Shiraishi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学工学部 Faculty of Engineering, Utsunomiya University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 松村 和仁 / Kazuhito Matsumura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学工学部 Faculty of Engineering, Utsunomiya University |
| 発表年月日 | 1996/10/31 |
| 資料番号 | OSC96-43,OPE96-93,LQE96-94 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 334 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |