| 講演名 | 1997/11/4 ダイレクトボンディングを用いたInP基板上磁気光学導波路 横井 秀樹, 水本 哲弥, |
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| 抄録(和) | 筆者らは、半導体レーザと導波路形光アイソレータの集積化において、ダイレクトボンディング技術の可能性について検討している。今回、SiO_2クラッド層を有する磁気光学導波路をInP基板上にダイレクトボンディングを用いて集積化することを試みたので、報告する。また、集積化のための半導体レーザのエッチングプロセスについて検討したので、あわせて報告する。 |
| 抄録(英) | Feasibility of wafer direct bonding technique has been investigated for integrating a semiconductor laser diode with an optical isolator. The direct bonding between InP and magnetooptic waveguides with an SiO_2 cladding layer is demonstrated. An etching process of a semiconductor laser diode for integrating the two devices is also described. |
| キーワード(和) | 光アイソレータ / ダイレクトボンディング / 半導体レーザ / ガーネット |
| キーワード(英) | optical isolator / direct bonding / semiconductor laser diode / garnet |
| 資料番号 | OCS97-51 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OCS |
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| 開催期間 | 1997/11/4(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optical Communication Systems (OCS) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ダイレクトボンディングを用いたInP基板上磁気光学導波路 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Magnetooptic waveguides on InP substrate by wafer direct bonding technique |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光アイソレータ / optical isolator |
| キーワード(2)（和/英） | ダイレクトボンディング / direct bonding |
| キーワード(3)（和/英） | 半導体レーザ / semiconductor laser diode |
| キーワード(4)（和/英） | ガーネット / garnet |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 横井 秀樹 / Hideki YOKOI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学 工学部 電子物理工学科 Department of Physical Electronics, Faculty of Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 水本 哲弥 / Tetsuya MIZUMOTO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学 工学部 電子物理工学科 Department of Physical Electronics, Faculty of Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 発表年月日 | 1997/11/4 |
| 資料番号 | OCS97-51 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 357 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |