| 講演名 | 2001/12/6 128×96画素冷陰極HARP撮像板の開発 難波 正和, 長田 勝玄, 宮川 和典, 瀧口 吉郎, 岡崎 三郎, 山岸 敏郎, 江上 典文, 田中 満, 伊藤 茂生, |
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| 抄録(和) | コンパクトで超高感度な次世代撮像デバイスを実現するため、微小な電界放射陰極を用いた冷陰極アレイと超高感度なHARP膜とを組み合わせた冷陰極HARP撮像板の研究・開発を進めている。今回、冷陰極アレイの多画素化とコンパクトな撮像板の製作技術の開発に取り組み、128×96画素の撮像板試作に成功した。撮像実験の結果、試作した撮像板では、高い感度と画素数に相当する解像度が得られること、また、寿命時間については、試験継続中であるが、250時間を経過した現時点でも安定に動作していることを確認した。 |
| 抄録(英) | A new type of flat image sensor consisting of a newly developed field emitter array (FEA) and a highly sensitive photoconductive target is described. An experimental vacuum-packaged sensor, which has 128 × 96 pixels, was fabricated and tested. The results showed that the sensor could produce stable images for more than 250 hours, demonstrating its potential as a next-generation image sensor and offering new applications of FEAs. |
| キーワード(和) | 高感度 / 撮像デバイス / 冷陰極 / HARP膜 / 真空封止構造 |
| キーワード(英) | High sensitivity / Image sensor / Field emitter / HARP / Vacuum packaging |
| 資料番号 | ED2001-172 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2001/12/6(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 128×96画素冷陰極HARP撮像板の開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | 128×96 pixels Field-emitter Image Sensor with HARP Target |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 高感度 / High sensitivity |
| キーワード(2)（和/英） | 撮像デバイス / Image sensor |
| キーワード(3)（和/英） | 冷陰極 / Field emitter |
| キーワード(4)（和/英） | HARP膜 / HARP |
| キーワード(5)（和/英） | 真空封止構造 / Vacuum packaging |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 難波 正和 / M. Nanba |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 長田 勝玄 / K. Osada |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 宮川 和典 / K. Miyakawa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 瀧口 吉郎 / Y. Takiguchi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 岡崎 三郎 / S. Okazaki |
| 第 5 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 山岸 敏郎 / T. Yamagishi |
| 第 6 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 江上 典文 / N. Egami |
| 第 7 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 田中 満 / M. Tanaka |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 双葉電子工業株式会社商品開発センター Product and Development Center, Futaba Corporation |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 伊藤 茂生 / S. Itoh |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 双葉電子工業株式会社商品開発センター Product and Development Center, Futaba Corporation |
| 発表年月日 | 2001/12/6 |
| 資料番号 | ED2001-172 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 500 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |