| 講演名 | 1999/3/5 Siマイクロマシニングによるメカトロニクス用光センサの開発 羽根 一博, 佐々木 実, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 本研究では、メカトロニクス用の光センサをシリコンマイクロマシニング技術を用いて製作した。シリコンの異方性エッチングと反応性エッチングを用いてレーザビームの変位を検出する透過型ポジションセンサを開発した。センサは大型機械システムの位置合わせに利用できる。同様に、シリコンマイクロマシニングにより製作したピンホールと光検出器を形状記憶合金アクチュエータと組合せて、光空間フィルタのための自動位置合わせシステムを製作した。また、光エンコーダ用の格子や光センサを微細加工により製作した。さらに、集積化の可能な薄膜光検出器を用いた新しいレーザ干渉計なども開発した。 |
| 抄録(英) | Some optical senaors for mechatronics were fabfucated using the micromachining transmission-type position sensors for monitoring the leam displacement were fabricat by using the anisotropic etching and deep RIE of silicon. The sensors can be using for the alignment of the large mechanical system. In addition, the automatic alignmet system for the optical spatial filter was also developed by using the micromachined pinhole combined with photodiodes and the shape memory alloy actuator. Moreover,the optical encoder system using the scale fabricated lithographically on the mechanical components was sudied |
| キーワード(和) | 光センサ / マイクロマシニング / フォトダイオード / エンコーダ / 光干渉計 / ポジションセンサ |
| キーワード(英) | Optical sensor / Micromachining / Photodiode / Encoder / Position sensoe / Laser interferometer |
| 資料番号 | ED98-267 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
|---|---|
| 開催期間 | 1999/3/5(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Siマイクロマシニングによるメカトロニクス用光センサの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of Si micromachined optical sensors for mechatronics |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光センサ / Optical sensor |
| キーワード(2)（和/英） | マイクロマシニング / Micromachining |
| キーワード(3)（和/英） | フォトダイオード / Photodiode |
| キーワード(4)（和/英） | エンコーダ / Encoder |
| キーワード(5)（和/英） | 光干渉計 / Position sensoe |
| キーワード(6)（和/英） | ポジションセンサ / Laser interferometer |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 羽根 一博 / Kazuhiro HANE |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科機械電子工学専攻 Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University, |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 佐々木 実 / Minoru SASAKI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科機械電子工学専攻 Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University |
| 発表年月日 | 1999/3/5 |
| 資料番号 | ED98-267 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 629 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 7 |
| 発行日 | |