| 講演名 | 1999/1/21 マイクロマシン技術を応用した感光性プラスチックサブミリ波帯回路素子の試作 浜野 哲子, ヴィクタ ルベッキ, 水野 皓司, |
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| 抄録(和) | 高性能なサブミリ波帯回路の構成に際し, 微小な3次元導波管などの回路素子が不可欠である.しかし, そのような回路素子を通常の機械加工で製作するのは, 技術的に困難であると共に非常に製作コストが高い.マイクロマシニング技術では, フォトリソグラフ技術を用いるため微細加工が可能であり, また並列加工によって低コストでの大量生産が可能である.本研究では, フォトレジストとしてUV硬化レジンを加工し, 2.5THz帯・640GHz帯の導波路用バックショート及び640GHz帯ダイクロイック板を試作した.このレジンは10:1以上のアスペクト比の加工が可能であるので, サブミリ波帯回路素子の製作に広く応用できると思われる. |
| 抄録(英) | High performance circuits in millimeter and submillimeter wave regions require the employment of extremely small three-dimensional waveguides and other components. The fabrication of the submillimeter wave circuits is quite difficult as well as much costly by the conventional machining technique. Micromachining technique can be employed to solve the fabrication problem. We have developed the photolithography technique for the production of submillimeter wave components using ultra-thick UV-curable resin for micromachining technique, while such technique can be extremely process sensitive. The technique can allow the batch production of a number of submillimeter-sized components simultaneously. We have demonstrated waveguide backshorts in the frequency ranges of 2.5 THz and 640 GHz as well as dichroic plates for 640 GHz. The UV-curable resin can be useful to fabricate submillimeter wave components, due to its possibility of the complicated structure having a high aspect ratio more than 10. |
| キーワード(和) | サブミリ波 / 導波管素子 / UV硬化樹脂 / MEMS |
| キーワード(英) | Submillimeter waves / Waveguide components / UV-curable resin / MEMS |
| 資料番号 | ED98-198,MW98-161,ICD98-265 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 1999/1/21(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | マイクロマシン技術を応用した感光性プラスチックサブミリ波帯回路素子の試作 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Submillimeter Components Using UV-curable Photosensitive plastics |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | サブミリ波 / Submillimeter waves |
| キーワード(2)（和/英） | 導波管素子 / Waveguide components |
| キーワード(3)（和/英） | UV硬化樹脂 / UV-curable resin |
| キーワード(4)（和/英） | MEMS / MEMS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 浜野 哲子 / Tetze Hamano |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | ヴィクタ ルベッキ / Lubecke M Vicrot |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 水野 皓司 / Koji Mizuno |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 発表年月日 | 1999/1/21 |
| 資料番号 | ED98-198,MW98-161,ICD98-265 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 518 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |