| 講演名 | 1998/11/6 三元混晶GaInNの結晶学的及び光学的評価 新田 州吾, 苅谷 道彦, 山口 栄雄, 竹内 哲也, 天野 浩, 赤崎 勇, |
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| 抄録(和) | GaN上に成長した三元混晶GaInNの組成と膜厚を変化させ, 結晶学的及び光学的特性の変化について評価を行った.X線回折によりモザイク性のチルトとツイストを測定し, 巨視的結晶性を評価した.また, 顕微フォトルミネッセンスによる発光ピーク波長マッピングの測定から組成ゆらぎの評価を行った.以上の結果, 組成ゆらぎは非常に小さく, むしろモザイク性や表面ラフネスの増大が大きいことが解った. |
| 抄録(英) | The crystalline and optical properties of ternary GaInN was elucidated with varying the composition and thickness. To characterize macroscopic crystalline quality we measured the tilt and twist using X-ray diffraction. Furthermore we performed micro-PL measurement for the observation of the compositional fluctuation from radiative peak wavelength. From above, we found the mosaicity and roughness are large rather than the compositional fluctuation. |
| キーワード(和) | GaInN / モザイク性 / チルトとツイスト / 組成不均一性 / 顕微PL |
| キーワード(英) | GaInN / mosaicity / tilt and twist / compositional fluctuation / micro-PL |
| 資料番号 | ED98-139,CPM98-142 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 1998/11/6(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 三元混晶GaInNの結晶学的及び光学的評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characterization of crystalline and optical properties of ternary GaInN |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | GaInN / GaInN |
| キーワード(2)（和/英） | モザイク性 / mosaicity |
| キーワード(3)（和/英） | チルトとツイスト / tilt and twist |
| キーワード(4)（和/英） | 組成不均一性 / compositional fluctuation |
| キーワード(5)（和/英） | 顕微PL / micro-PL |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 新田 州吾 / Shugo NITTA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名城大学理工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Meijo University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 苅谷 道彦 / Michihiko KARIYA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名城大学理工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Meijo University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 山口 栄雄 / Shigeo YAMAGUCHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名城大学理工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Meijo University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 竹内 哲也 / Tetsuya TAKEUCHI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名城大学理工学部電気電子工学科 Department of Electronical and Electric Engineering, Meijo University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 天野 浩 / Hiroshi AMANO |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 名城大学理工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Meijo University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 赤崎 勇 / Isamu AKASAKI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 名城大学理工学部電気電子工学科 Department of Electronical and Electric Engineering, Meijo University |
| 発表年月日 | 1998/11/6 |
| 資料番号 | ED98-139,CPM98-142 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 384 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |