講演名 1998/11/5
光化学堆積CdS薄膜の結晶構造と光学的特性
市村 正也, 後藤 文孝, 荒井 英輔,
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抄録(和) 光化学堆積(PCD)法によって堆積したCdSに熱処理を施し、構造的及び光学的特性の変化を測定した。熱処理前の堆積膜は準安定な立方晶であった。熱処理温度が440℃以下の範囲では立方晶が保たれるが、熱処理温度が450℃に達すると結晶構造は六方晶に変化し、同時に結晶性が向上する。さらにルミネッセンス強度も450℃の熱処理により大きく増加する。光吸収より求めた禁制帯幅は、低温(<400℃)の熱処理で堆積直後に比べて約0.1eV減少した後、450℃の熱処理で急激に増加して単結晶CdSとほぼ同じ値になった。以上より、450℃以上の温度で熱処理を施せば、良好な結晶性の六方晶CdSが得られることが示された。
抄録(英) CdS thin films grown by photochemical deposition(PCD)are characterized by X-ray diffraction(XRD), Raman spectroscopy, photoluminescence and optical transmission measurements. The as-deposited film is dominantly zincblende cubic. The cubic phase remains dominant until the annealing temperature T becomes higher than 440℃. After the annealing at 450℃, the structure turns to hexagonal and the XRD peak width decreases. The near-band-edge liminescence is observed for T>450℃. The bandgap is decreased by annealing at T<440℃ and then abruptly increased by the annealing at 450℃.
キーワード(和) CdS / 光化学堆積法 / 太陽電池 / 熱処理 / 相転移
キーワード(英) CdS / photochemical deposition / solar cell / annealing / phase transition
資料番号 ED98-128,CPM98-131
発行日

研究会情報
研究会 ED
開催期間 1998/11/5(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electron Devices (ED)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 光化学堆積CdS薄膜の結晶構造と光学的特性
サブタイトル(和)
タイトル(英) Crystal structure and optical properties of CdS films grown by photochemical deposition
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) CdS / CdS
キーワード(2)(和/英) 光化学堆積法 / photochemical deposition
キーワード(3)(和/英) 太陽電池 / solar cell
キーワード(4)(和/英) 熱処理 / annealing
キーワード(5)(和/英) 相転移 / phase transition
第 1 著者 氏名(和/英) 市村 正也 / M. ICHIMURA
第 1 著者 所属(和/英) 名古屋工業大学共同研究センター
Center for Cooperative Research, Nagoya Institute of Technology
第 2 著者 氏名(和/英) 後藤 文孝 / F. GOTO
第 2 著者 所属(和/英) 名古屋工業大学電気情報工学科
Department of Electrical and Computer Engineering, Nagoya Institute of Technology
第 3 著者 氏名(和/英) 荒井 英輔 / E. ARAI
第 3 著者 所属(和/英) 名古屋工業大学電気情報工学科
Department of Electrical and Computer Engineering, Nagoya Institute of Technology
発表年月日 1998/11/5
資料番号 ED98-128,CPM98-131
巻番号(vol) vol.98
号番号(no) 383
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日