| 講演名 | 1993/5/21 レーザアブレーション法の分子線源としての可能性 加地 徹, 加納 浩之, |
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| 抄録(和) | レーザアブレーション法のMBEにおける分子線源としての可能性を検討した。11種類の元素物質を、レーザアブレーション法により基板上に堆積し、その表面状態を観察し評価した。レーザアブレーション法の持つ大きな問題点として、堆積表面での微粒子の形成がある。表面の観察の結果、高融点物質および昇華性物質は微粒子を生じないことがわかった。一方、中・低融点物質は固体のターゲットでは微粒子を形成するが、溶融したターゲットとすることで、微粒子形成を防止可能であることを見いだした。また蒸発形態の観測によりレーザアブレーション法の分子線源としての可能性を確認した。 |
| 抄録(英) | Potential of laser ablation as a molecular beam source has been investigated.Eleven elemental materials have been deposited on the substrates by the laser ablation and the surface morpholgies have been observed.Main disadvantage of the laser ablation is particle deposition in the films.It has been found that the particle deposition strongly depended on the properties of the target materials.Materials which have the melting point above.～2000℃ dep osit or sublimate do not deposit the particles.Materials which have the melting point lower than ～2000℃ deposit the particles.We have found that these particle depositions were avoided by using the molten targets.Properties of the evaporation have shown that the laser ablation had the potential of the superior molecular beam source. |
| キーワード(和) | レーザアブレーション / 分子線源 / 分子線エピタキシャル法 / エキシマレーザ / 溶融ターゲット |
| キーワード(英) | laser ablation / molecular beam source / molecular beam epitaxy / excimer laser / molten target |
| 資料番号 | ED93-28,CPM93-19 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 1993/5/21(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | レーザアブレーション法の分子線源としての可能性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Potential of laser ablation as a molecular beam source |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | レーザアブレーション / laser ablation |
| キーワード(2)（和/英） | 分子線源 / molecular beam source |
| キーワード(3)（和/英） | 分子線エピタキシャル法 / molecular beam epitaxy |
| キーワード(4)（和/英） | エキシマレーザ / excimer laser |
| キーワード(5)（和/英） | 溶融ターゲット / molten target |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 加地 徹 / Tetsu Kachi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 豊田中央研究所 Toyota Central Research and Development Labs.,Inc. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 加納 浩之 / Hiroyuki Kano |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 豊田中央研究所 Toyota Central Research and Development Labs.,Inc. |
| 発表年月日 | 1993/5/21 |
| 資料番号 | ED93-28,CPM93-19 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 46 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |