| 講演名 | 1993/5/21 フーリエ変換ラマン分光器を用いたルミネッセンス光測定によるCZ-Si単結晶の評価 濱田 基嗣, 河東田 隆, |
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| 抄録(和) | 本研究では近年開発されたフーリエ変換ラマン分光器(FT-Raman)をシリコン単結晶の評価に応用した。FT-Ramanでは励起光としてNd:YAGレーザの1.065μmの発振線を用いているのでラマン光とともにルミネッセンス光が観測される。本研究ではこのルミネッセンス光の注目してシリコン微小欠陥の評価を行った。シリコン結晶を500℃付近で熱処理するとサーマルドナーが形成され、800℃以上で熱処理すると酸素析出物が形成される。それぞれの欠陥は室温で0.7eV付近にピークをもつ発光中心となる。FT-Raman分光器は高速高感度の測定を行うことができるので、非常に短時間の熱処理後にシリコン結晶中に形成された酸素析出物やサーマルドナーをそのルミネッセンス光によって評価できることを示した。また低速成長結晶のリング状酸化誘起積層欠陥(R-OSF)領域とその内側から、従来報告のないサーマルドナーの発生を確認しR-OSF発生を説明するモデルを提案した。 |
| 抄録(英) | Fourier transform Raman spectrometer(FT-Raman)was used for measurement of photoluminescence from silicon single-crystals grown by Czochralski method(CZ-Si).Thermal donors and oxygen precipitates were formed in CZ-Si by annealing around 500℃ and at a temperature higher than 800℃.Luminescence whose peak was around 0.7eV was observed after either of these defects was formed. Using FT-Raman,it was possible to observe luminescence from thermal donors or oxygen precipitates formed by very short annealing.By the method,it was shown that thermal donors were formed only in the center region of crystals which had been grown at a relatively low rate.A new model was proposed that distribution of oxygen clusters and self-interstitial slicon decide the ring distribution of oxidation-induced stacking faults. |
| キーワード(和) | フーリエ変換ラマン分光器 / 赤外分光法 / フォトルミネッセンス / サーマルドナー / 酸素析 出物 / リング状酸化誘起積層欠陥 |
| キーワード(英) | Fourier transform Raman spectrometer / infra-red spectroscopy / photoluminescence / thermal donor / oxygen precipitate / stacking fault ring |
| 資料番号 | ED93-27,CPM93-18 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 1993/5/21(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | フーリエ変換ラマン分光器を用いたルミネッセンス光測定によるCZ-Si単結晶の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characterization of CZ-Si single-crystals based on Photoluminescence using Fourier transform Raman Spectrometer |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | フーリエ変換ラマン分光器 / Fourier transform Raman spectrometer |
| キーワード(2)（和/英） | 赤外分光法 / infra-red spectroscopy |
| キーワード(3)（和/英） | フォトルミネッセンス / photoluminescence |
| キーワード(4)（和/英） | サーマルドナー / thermal donor |
| キーワード(5)（和/英） | 酸素析 出物 / oxygen precipitate |
| キーワード(6)（和/英） | リング状酸化誘起積層欠陥 / stacking fault ring |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 濱田 基嗣 / Mototsugu Hamada |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京大学工学部電子工学科 Department of Electronic Engineering,Faculty of Engineering,The University of Tokyo |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 河東田 隆 / Takashi Katoda |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京大学工学部電子工学科 Department of Electronic Engineering,Faculty of Engineering,The University of Tokyo |
| 発表年月日 | 1993/5/21 |
| 資料番号 | ED93-27,CPM93-18 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 46 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |