講演名 1995/12/15
電界放出冷陰極を用いた新撮像素子の開発
江上 典文, 後藤 克幸, 佐藤 史郎,
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抄録(和) スピント型冷陰極を用いた撮像素子開発の第一段階として、冷陰極撮像管を試作し、かつ超高真空チャンバ内に冷陰極と光導電ターゲットを対向配置した撮像板構造を構成し、撮像動作実験を行った。試作管では、画面中心部で約600TV本の解像度が得られ、この種の撮像素子として初めてTV撮像に成功した。また撮像板構造での撮像実験より、光導電ターゲットの蓄積電荷の読み出しが可能なこと、冷陰極からのエミッション電流の変動は出力信号電流にほとんど影響を及ぼさないこと等を明らかにし、将来の撮像板実現の可能性を見い出した。しかしこの種の冷陰極撮像素子の高性能化には、1O^<-5>Pa程度の管内真空度での冷陰極自体の安定性および寿命の改善や高効率化が求められるとともに、撮像板の実現に際しては、それらに加えて、冷陰極とターゲットの近接配置等を可能とする製作方法の開発が必要であると考えられる。
抄録(英) As a first step to new flat image sensors, a camera tube with Spindt type field emitters has been fabricated. Moreover, to investigate the picking-up operation of accumulated charges on the photoconductive target, field emitters have been set face to face with the target in ultra-high vacuum chamber. Using new fabrication processes such as aging of the emitters, TV images could be successfully produce with the experimental tube. The limiting resolution of 600 TV lines was obtained. On the other hand, it was confirmed that the picking-up operation of the charges by field emitters set close to the HARP target was possible, and the signal current from the target was not influenced by fluctuation of emission current in the image sensors with field emitters. To produce ultra-high resolution image sensors, however, further improvements in the performance of field emitters would be required because degradation in emission current is large, and the stable high current operation of a small number of field emitter tips can not be easily achieved at practical pressure of about 10^<-5> Pa.
キーワード(和) 冷陰極 / 電界放出 / スピント型 / 撮像管 / 撮像板
キーワード(英) Cold cathode / Field emitter / Spindt-type / Camera tube / Flat image sensor
資料番号 ED95-139
発行日

研究会情報
研究会 ED
開催期間 1995/12/15(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electron Devices (ED)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 電界放出冷陰極を用いた新撮像素子の開発
サブタイトル(和)
タイトル(英) New Image Sensors with Field Emitters
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 冷陰極 / Cold cathode
キーワード(2)(和/英) 電界放出 / Field emitter
キーワード(3)(和/英) スピント型 / Spindt-type
キーワード(4)(和/英) 撮像管 / Camera tube
キーワード(5)(和/英) 撮像板 / Flat image sensor
第 1 著者 氏名(和/英) 江上 典文 / Norifumi Egami
第 1 著者 所属(和/英) NHK放送技術研究所
NHK Science and Technical Research Labs.
第 2 著者 氏名(和/英) 後藤 克幸 / Katsuyuki Gotoh
第 2 著者 所属(和/英) NHK放送技術研究所
NHK Science and Technical Research Labs.
第 3 著者 氏名(和/英) 佐藤 史郎 / Fumio Sato
第 3 著者 所属(和/英) NHK放送技術研究所
NHK Science and Technical Research Labs.
発表年月日 1995/12/15
資料番号 ED95-139
巻番号(vol) vol.95
号番号(no) 425
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日