講演名 1995/12/15
微小間隙電極間における電界放射電流の挙動
芦原 和人, 中根 英章, 安達 洋,
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抄録(和) FEAのような微小間隙電極間においては、真空中の残留気体分子のおよほす影響が、電極間が大きい場合とは異なるものと考えられる。ここでは、電界放射電流の挙動について、電極間距離をパラメータとして検討した。エミッションの時間変化における電流の初期減衰と相対変動に着目して実験を行った。エミッションの時間変化は初期電流を50nAとして測定した。電極間距離1mm程度から数十μmの範囲では、エミッションに大きな初期減衰は見られなかった。約20μm以下の距離においては、初期減衰が見られた。その距離でのFowler-Nordheim plotは、高電圧側で直線からずれる傾向があった。また、相対変動は、電極間距離の変化に対して、今回の実験で実現できた10μm前後の距離までの範囲及び50nA程度の電流量でほとんど差違は見られなかった。
抄録(英) A set of model electrode system, simulating an element of field emission arrays, was made and field emission characteristics with very short emitter to anode distance were investigated. Initial current decay was scarecely observed when the range of the distance was from several tens μm to 1 mm but was very obvious when the distance was less than 20 μm. The Fowler-Nordheim plot at the very short distance bend down at the high voltage side. Relative fluctuation of the current hardly changed with the distance in the range of the distance examined here.
キーワード(和) FEA / 微小電極間 / 電界放射 / 電流初期減衰 / 相対変動
キーワード(英) FEA / Short range of the emitter to anode distance / Field emission / Initial current decay / Relative fluctuation
資料番号 ED95-137
発行日

研究会情報
研究会 ED
開催期間 1995/12/15(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electron Devices (ED)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 微小間隙電極間における電界放射電流の挙動
サブタイトル(和)
タイトル(英) Field emission characteristics in short range of the emitter to anode distance
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) FEA / FEA
キーワード(2)(和/英) 微小電極間 / Short range of the emitter to anode distance
キーワード(3)(和/英) 電界放射 / Field emission
キーワード(4)(和/英) 電流初期減衰 / Initial current decay
キーワード(5)(和/英) 相対変動 / Relative fluctuation
第 1 著者 氏名(和/英) 芦原 和人 / Kazuto ASHIHARA
第 1 著者 所属(和/英) 室蘭工業大学電気電子工学科
Department of Electrical and Electronic Engineering, Muroran Institute of Technology
第 2 著者 氏名(和/英) 中根 英章 / Hideaki NAKANE
第 2 著者 所属(和/英) 室蘭工業大学電気電子工学科
Department of Electrical and Electronic Engineering, Muroran Institute of Technology
第 3 著者 氏名(和/英) 安達 洋 / Hiroshi ADACHI
第 3 著者 所属(和/英) 室蘭工業大学電気電子工学科
Department of Electrical and Electronic Engineering, Muroran Institute of Technology
発表年月日 1995/12/15
資料番号 ED95-137
巻番号(vol) vol.95
号番号(no) 425
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日