| 講演名 | 1995/12/14 Si-FEAのフリッカーノイズ ディアス サルセンビノフ, 山本 恵彦, 伊藤 順司, 金丸 正剛, 平野 貴之, |
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| 抄録(和) | Si単結晶基板を用いてフィールドエミッタアレイ(FEA)を作製し、放射電流のフリッカーノイズ(FN)を実験的に調べた。フリッカーノイズのパワースペクトルは、放射電流をI、周波数をfとして、W(f,I)∝I^2xf^<-ε>で表されることが分かった。実験の結果、係数εが放射電流の変化に伴って緩やかに変化すること、他方、ティップ数とエミッタに直列に接続されている安定化抵抗には関連しないことが分かった。また、真空度依存性も見いだせなかった。雰囲気ガスの種類を変えて測定した結果、H_2に対してはε=1、COに対してはε=1.5であった。表面拡散に基づいた理論モデルの適用性ついても議論する。 |
| 抄録(英) | The Si field emitter arrays (FEAs) were fabricated using microfabrication technique and basic observation of field emission flicker noise (FN) has been done. The spectral density function of mean square fluctuation of FN was found as W(f,I)∝I^2xf^<-ε> with cutoff frequency f_0=1 Hz. The main objective of the experiment is to investigate the parameter ε of FN in frequency range 1-100 Hz. The ε of FN slightly changes with emission current under UHV conditions, but doesn't relate to number of tips and stabilizing resistance. Furthermore, dependence on ambient pressure also could not been detected. The ε-parameter corresponds to surface diffusion of adsorbed molecules of residual gases and changes under different ambient gases. The ε=1 and 1.5 were found for H_2 and CO respectively. Appropriate model of surface diffusion is discussed. |
| キーワード(和) | フィールドエミッタアレイ / フリッカーノイズ / パワースぺクトル / 表面拡散 / H_2 / CO |
| キーワード(英) | Field emitter arrays / Flicker noise / spectral density function / surface diffusion / hydrogen / carbon monoxide |
| 資料番号 | ED95-130 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 1995/12/14(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | Si-FEAのフリッカーノイズ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Experimental study of Flicker noise of Si FEAs |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | フィールドエミッタアレイ / Field emitter arrays |
| キーワード(2)（和/英） | フリッカーノイズ / Flicker noise |
| キーワード(3)（和/英） | パワースぺクトル / spectral density function |
| キーワード(4)（和/英） | 表面拡散 / surface diffusion |
| キーワード(5)（和/英） | H_2 / hydrogen |
| キーワード(6)（和/英） | CO / carbon monoxide |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | ディアス サルセンビノフ / Sarsembinov Dias |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 筑波大学 Tsukuba University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 山本 恵彦 / Shigehiko Yamamoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 筑波大学 Tsukuba University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 伊藤 順司 / Junji Itoh |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 電子技術総合研究所 Electrotechnical Laboratory |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 金丸 正剛 / Seigo Kanemaru |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 電子技術総合研究所 Electrotechnical Laboratory |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 平野 貴之 / Takayuki Hirano |
| 第 5 著者 所属（和/英） | (株)神戸製鋼所 Kobe Steel Ltd. |
| 発表年月日 | 1995/12/14 |
| 資料番号 | ED95-130 |
| 巻番号（vol） | vol.95 |
| 号番号（no） | 424 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |