| 講演名 | 1996/5/23 アモルファス窒化カーボンa-CN_xの作製とその性質 高田 尚幸, 仁田 昌二, 野々村 修一, |
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| 抄録(和) | 我々は、Ar+N_2の混合ガスとグラファイトターゲットを用いた高周波反応性マグネトロンスパッタ法にてa-CN_x薄膜試料を作製した。窒素ガス分圧比r-P_ |
| 抄録(英) | We have made amorphous phase of CN_x by rf reactive magnetron sputtering using Ar-N_2 mixed gas and a graphite target. The ratio of nitrogen gas pressure PN_2 in sputter gas r=P_ |
| キーワード(和) | a-CN_x / XPS / IR / U.V. / ESR / 直流電気伝導率 |
| キーワード(英) | a-CN_x / XPS / IR / U.V. / ESR / DC conductivity |
| 資料番号 | ED96-27,CPM96-12 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 1996/5/23(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | アモルファス窒化カーボンa-CN_xの作製とその性質 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation and properties of amorphous carbon nitride a-CN_x |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | a-CN_x / a-CN_x |
| キーワード(2)（和/英） | XPS / XPS |
| キーワード(3)（和/英） | IR / IR |
| キーワード(4)（和/英） | U.V. / U.V. |
| キーワード(5)（和/英） | ESR / ESR |
| キーワード(6)（和/英） | 直流電気伝導率 / DC conductivity |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 高田 尚幸 / N. Takada |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 岐阜大学工学部電子情報工学科 Department of Electronic & Computer Engineering, Faculty of Engineering, Gifu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 仁田 昌二 / S. Nitta |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 岐阜大学工学部電子情報工学科 Department of Electronic & Computer Engineering, Faculty of Engineering, Gifu University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 野々村 修一 / S. Nonomura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 岐阜大学工学部電子情報工学科 Department of Electronic & Computer Engineering, Faculty of Engineering, Gifu University |
| 発表年月日 | 1996/5/23 |
| 資料番号 | ED96-27,CPM96-12 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 66 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |