| 講演名 | 1996/6/21 アナログ/デジタル混載LSIに適したBiCMOS技術 山内 経則, 土屋 主税, |
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| 抄録(和) | ディスクコントローラや自動車用のアナログ/デジタル混載LSIに適したBiCMOS技術として低濃度のnMOSソース/トレイン層とポリシリコンによるセルフアラインエミッタ構造をもつBiCMOS技術を開発し,CMOS,バイポーラ双方の素子耐圧を20V以上に保ちつつ,バイポーラトランジスタの遮断周波数2.8GHzを得ることができた。本技術により,磁気ディスク装置用信号処理LSIを試作し,その有効性を確認した。 |
| 抄録(英) | We have developed simplified self-aligned emitter technology which is processed by reflowed PSG, photoetching for emitters, and emitter diffusion through polysilicon. At the same time, more lightly doped drain technology for nMOS transistors were employed. As a result, bipolar transistors having over 20 V BV_ |
| キーワード(和) | BiCMOS / アナログ/デジタル / 自己整合エミッ夕 / LSI / コントローラ |
| キーワード(英) | BiCMOS / Analogue/Digital / Self-aligned Emitter / Controller |
| 資料番号 | ED96-61,SDM96-44,ICD96-64 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 1996/6/21(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | アナログ/デジタル混載LSIに適したBiCMOS技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | BiCMOS Technology for Analogue/Digital Mixed LSI |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | BiCMOS / BiCMOS |
| キーワード(2)（和/英） | アナログ/デジタル / Analogue/Digital |
| キーワード(3)（和/英） | 自己整合エミッ夕 / Self-aligned Emitter |
| キーワード(4)（和/英） | LSI / Controller |
| キーワード(5)（和/英） | コントローラ |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 山内 経則 / Tsunenori Yamauchi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 富士通(株)第一半導体事業本部会津若松工場 Aizuwakamatsu Plant Semiconductor Div. Fujitsu Limited |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 土屋 主税 / Chikara Tsuchiya |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 富士通(株)第一半導体事業本部第二システムLSI事業部 2nd System LSI Dept., Semiconductor Div. Fujitsu Limited |
| 発表年月日 | 1996/6/21 |
| 資料番号 | ED96-61,SDM96-44,ICD96-64 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 108 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |