講演名 1996/10/11
MOMBE法を用いたSi上GaAsPの結晶成長
渡部 康弘, 安井 俊之, 吉本 昌広, 松波 弘之,
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抄録(和) TEGa(triethylgllium)、PH_3、およびtBAs(tertiarybuthylarsine)を用いてSi基板上にGaAs_<1-x>P_x(0.3~1×10^<18>cm^<-3>程度のn型成長層を得た。キャリヤ密度の温度依存性から、Snのイオン化エネルギーとして、62.7meVを得た。200~250Kでは、温度上昇と共に見かけ上キャリヤ密度が減少した。これは、L帯(Γ谷)からU帯(X谷)への電子の遷移を考慮することで説明できた。
抄録(英) Single crystalline GaAs_<1-x>P_x(0.3P_x growth(0~1×10^<18>cm^<-3> based on the results of Hall effect measurement. The activation energy of Sn was estimated to be 62.7meV from the temperature dependence of the carrier concentration. The temperature dependence of the carrier concentration for the doped layer was analyzed by taking account of electrons transferred from L-band(Γ-valley) to U-band(X-valley) in the conduction band.
キーワード(和) GaAsP / MOMBE / 2段階成長 / Si上ヘテロエピ / ホトルミネセンス / ドーピング
キーワード(英) GaAsP / MOMBE / two-step growth / hetero epitaxial growth on Si / photoluminescence / doping
資料番号 ED96-99,CPM96-77
発行日

研究会情報
研究会 ED
開催期間 1996/10/11(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electron Devices (ED)
本文の言語 JPN
タイトル(和) MOMBE法を用いたSi上GaAsPの結晶成長
サブタイトル(和)
タイトル(英) Crystal Growth of GaAsP/Si(100) by Metal-Organic Molecular Beam Epitaxy
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) GaAsP / GaAsP
キーワード(2)(和/英) MOMBE / MOMBE
キーワード(3)(和/英) 2段階成長 / two-step growth
キーワード(4)(和/英) Si上ヘテロエピ / hetero epitaxial growth on Si
キーワード(5)(和/英) ホトルミネセンス / photoluminescence
キーワード(6)(和/英) ドーピング / doping
第 1 著者 氏名(和/英) 渡部 康弘 / Y. Watanabe
第 1 著者 所属(和/英) 京都大学工学研究科
Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University
第 2 著者 氏名(和/英) 安井 俊之 / T. Yasui
第 2 著者 所属(和/英) 京都大学工学研究科
Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University
第 3 著者 氏名(和/英) 吉本 昌広 / M. Yoshimoto
第 3 著者 所属(和/英) 京都大学工学研究科
Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University
第 4 著者 氏名(和/英) 松波 弘之 / H. Matsunami
第 4 著者 所属(和/英) 京都大学工学研究科
Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University
発表年月日 1996/10/11
資料番号 ED96-99,CPM96-77
巻番号(vol) vol.96
号番号(no) 292
ページ範囲 pp.-
ページ数 8
発行日