講演名 | 1996/10/11 MOMBE法を用いたSi上GaAsPの結晶成長 渡部 康弘, 安井 俊之, 吉本 昌広, 松波 弘之, |
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抄録(和) | TEGa(triethylgllium)、PH_3、およびtBAs(tertiarybuthylarsine)を用いてSi基板上にGaAs_<1-x>P_x(0.3 |
抄録(英) | Single crystalline GaAs_<1-x>P_x(0.3 |
キーワード(和) | GaAsP / MOMBE / 2段階成長 / Si上ヘテロエピ / ホトルミネセンス / ドーピング |
キーワード(英) | GaAsP / MOMBE / two-step growth / hetero epitaxial growth on Si / photoluminescence / doping |
資料番号 | ED96-99,CPM96-77 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | ED |
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開催期間 | 1996/10/11(から1日開催) |
開催地(和) | |
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テーマ(和) | |
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幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | MOMBE法を用いたSi上GaAsPの結晶成長 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Crystal Growth of GaAsP/Si(100) by Metal-Organic Molecular Beam Epitaxy |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | GaAsP / GaAsP |
キーワード(2)(和/英) | MOMBE / MOMBE |
キーワード(3)(和/英) | 2段階成長 / two-step growth |
キーワード(4)(和/英) | Si上ヘテロエピ / hetero epitaxial growth on Si |
キーワード(5)(和/英) | ホトルミネセンス / photoluminescence |
キーワード(6)(和/英) | ドーピング / doping |
第 1 著者 氏名(和/英) | 渡部 康弘 / Y. Watanabe |
第 1 著者 所属(和/英) | 京都大学工学研究科 Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University |
第 2 著者 氏名(和/英) | 安井 俊之 / T. Yasui |
第 2 著者 所属(和/英) | 京都大学工学研究科 Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University |
第 3 著者 氏名(和/英) | 吉本 昌広 / M. Yoshimoto |
第 3 著者 所属(和/英) | 京都大学工学研究科 Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University |
第 4 著者 氏名(和/英) | 松波 弘之 / H. Matsunami |
第 4 著者 所属(和/英) | 京都大学工学研究科 Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University |
発表年月日 | 1996/10/11 |
資料番号 | ED96-99,CPM96-77 |
巻番号(vol) | vol.96 |
号番号(no) | 292 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 8 |
発行日 |