| 講演名 | 1997/12/12 電界放射陰極材料としての遷移金属窒化物 安達 洋, 中根 英章, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 電子顕微鏡や電子線描画装置のような電子ビーム装置に応用することを念頭に入れて電界放射陰極の研究をしている。この場合、最も重要な因子は輝度と安定度である。電界放射陰極は輝度が非常に高いが、安定度が劣るのが唯一の欠点である。放射電流変動が少ない安定電流を得るには陰極材料そのものを検討する必要がある。遷移金属をアンモニア気体中で加熱することで、Ti、Zr、Nbの窒化物が得られたので、電界放射特性を調べた。この中ではNbNが最も安定に電子放射した。 |
| 抄録(英) | Field emission cathodes have been examined, intending to apply for electron beam systems such as electron microscopes and electron beam exposure systems. The most important factors for such cathodes are the brightness and the stability. Field emission cathodes are very bright, but the electron emission fluctuates very much. Materials for the field emission cathode should be examined systematically in a view of stable emission. Nitride needles of transition metals of Ti, Zr, and Nb are obtained by heating the elemental metal needles in an ammonia gas atmosphere. The NbN needle gave the most stable field emission current among the nitrides examined here. |
| キーワード(和) | 電界放射陰極 / 窒化物 / 遷移金属窒化物 / 安定性 / 電流変動 |
| キーワード(英) | Field emission / Nitride / Transition metal nitride / Emission stability / Current fluctuation |
| 資料番号 | ED97-179 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
|---|---|
| 開催期間 | 1997/12/12(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 電界放射陰極材料としての遷移金属窒化物 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Transition Metal Nitrides as Materials for Field Emission Cathodes |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電界放射陰極 / Field emission |
| キーワード(2)（和/英） | 窒化物 / Nitride |
| キーワード(3)（和/英） | 遷移金属窒化物 / Transition metal nitride |
| キーワード(4)（和/英） | 安定性 / Emission stability |
| キーワード(5)（和/英） | 電流変動 / Current fluctuation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 安達 洋 / Hiroshi Adachi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 室蘭工業大学電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering Muroran Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中根 英章 / Hideaki Nakane |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 室蘭工業大学電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering Muroran Institute of Technology |
| 発表年月日 | 1997/12/12 |
| 資料番号 | ED97-179 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 438 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |