| 講演名 | 1997/12/12 MOSトンネルカソードからの電子放射特性 三村 秀典, 田原 薫, 池田 順司, 根尾 陽一郎, 嶋脇 秀隆, 横尾 邦義, |
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| 抄録(和) | MOSトンネル陰極の電子放射機構を解明する実験を行い、Si基板の価電子帯からのトンネル電子も放射電子に関与していることを明らかにした。また、極めて薄い絶縁膜を持つMOSトンネル陰極でF-N共鳴トンネルエミッションが観測できることを示し、MOSトンネル陰極はそのエネルギー構造を反映したエミッションが得られることを確認した。 |
| 抄録(英) | The paper describes the emission mechanism of MOS tunneling cathodes. We have found that electrons in the valence band of the Si substrate contribute to the emission current as well as those in the conduction band. We have also observed the Fowler-Nordheim resonant tunneling in the MOS cathode with an ultra thin oxide layer and oscillatory behavior of the emission current due to the resonant tunneling. The emission mechanism is reasonably understood by the energy structure of MOS tunneling cathodes. |
| キーワード(和) | MOS / 冷陰極 / 価電子帯 / F-N共鳴トンネル / 電子波 |
| キーワード(英) | MOS / cold cathode / valence band / F-N resonant tunnel / electron wave |
| 資料番号 | ED97-177 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 1997/12/12(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | MOSトンネルカソードからの電子放射特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Emission Characteristics of MOS Tunneling Cathodes |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MOS / MOS |
| キーワード(2)（和/英） | 冷陰極 / cold cathode |
| キーワード(3)（和/英） | 価電子帯 / valence band |
| キーワード(4)（和/英） | F-N共鳴トンネル / F-N resonant tunnel |
| キーワード(5)（和/英） | 電子波 / electron wave |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 三村 秀典 / H. Mimura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学 電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 田原 薫 / K. Tahara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学 電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 池田 順司 / J. Ikeda |
| 第 3 著者 所属（和/英） | (株)ニコン開発技術本部 R&D HEADQUATERS, NIKON CORP. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 根尾 陽一郎 / Y. Neo |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学 電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 嶋脇 秀隆 / H. Shimawaki |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学 電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 横尾 邦義 / K. Yokoo |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北大学 電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 発表年月日 | 1997/12/12 |
| 資料番号 | ED97-177 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 438 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |