| 講演名 | 1997/12/11 導電性ダイアモンド状炭素膜を被覆した微小電子源の電子放出特性 増田 剛, 澤田 和明, 半戸 琢也, 木下 治久, 安藤 隆男, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 電界放出微小エミッタは新しいディスプレイデバイスなどへの応用が期待されている. そのためにはエミッション電流の安定化とエミッタ駆動電圧の低減化が望まれる. 本研究に用いたスーパーマグネトロンプラズマCVD装置においては, RFパワー, 基板温度などにより導電性などが大きく変化する. そこで, 様々な導電性を持つDLC膜をコーティングしたSiコーン型エミッタからのエミッション電流特性の関係を測定したので報告する. このエミッタからの放出電流特性は典型的なエミッション電流特性を示し、導電性DLC膜をコーティングすることによるエミッタの駆動電圧の低減が確認された。また、エミッション電流のランダムノイズがコーティングにより低減されることを確認した。 |
| 抄録(英) | Diamond Like Carbon (DLC) coated cone-shaped field emitters was proposed. To coat thin Nitrogen-doped DLC film on n-type Si cone-shaped field emitters, threshold voltage was reduced from 620V to 370V and emission current of 1.3μA was observed at 550V. A random noise of emission current was reduced to coat DLC film. |
| キーワード(和) | 微小電子源 / フィールドエミッタ / 電界放出 / 導電性DLC膜 / 窒素ドープ |
| キーワード(英) | Field emitter / DLC / N_2-dope / field emission |
| 資料番号 | ED97-173 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
|---|---|
| 開催期間 | 1997/12/11(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 導電性ダイアモンド状炭素膜を被覆した微小電子源の電子放出特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Emission Characteristics of DLC coated field emitters |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 微小電子源 / Field emitter |
| キーワード(2)（和/英） | フィールドエミッタ / DLC |
| キーワード(3)（和/英） | 電界放出 / N_2-dope |
| キーワード(4)（和/英） | 導電性DLC膜 / field emission |
| キーワード(5)（和/英） | 窒素ドープ |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 増田 剛 / T. Masuda |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学電子工学研究所 Research Institute of Electronics, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 澤田 和明 / K. Sawada |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学電子工学研究所 Research Institute of Electronics, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 半戸 琢也 / T. Hando |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学電子工学研究所 Research Institute of Electronics, Shizuoka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 木下 治久 / H. Kinoshita |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 静岡大学電子工学研究所 Research Institute of Electronics, Shizuoka University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 安藤 隆男 / T. Ando |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 静岡大学電子工学研究所 Research Institute of Electronics, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 1997/12/11 |
| 資料番号 | ED97-173 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 437 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |