| 講演名 | 1997/12/11 冷陰極HARP撮像板のビーム特性 難波 正和, 山岸 敏郎, 岡崎 三郎, 谷岡 健吉, 高山 勝己, 田中 満, 伊藤 茂生, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 超高感度、高精細でコンパクトな次世代撮像デバイスの実現を目指して新たな構造のデバイスの開発を進めている。これは冷陰極HARP撮像板と呼ばれ、微小な電子放出源を面上に並べた冷陰極アレイと電荷増倍型のHARP方式ターゲットを組み合わせた構造である。今回は、電子ビームの集束を目的として、冷陰極アレイとターゲットの間に挿入したメッシュ電極の位置およびその印加電圧が、ターゲットの信号読み出しに寄与する電子ビームのスポット径とその電流量に与える影響について詳細に調べた。その結果、電子ビームの集束等、撮像板の特性向上に関していくつかの知見が得られた。 |
| 抄録(英) | We conducted research in a new image sensor, FEIS (Field Emitter Image Sensor), which consists of a matrix field emitter array, a mesh electrode, and a HARP target. With the aim of controlling beam spread, the beam characteristics were investigated in detail in a vacuum chamber. Experimental results showed that the position and voltage of the mesh electrode could improve the beam current and the resolution characteristics. |
| キーワード(和) | 冷陰極アレイ / 電界放出 / 撮像デバイス / HARP方式ターゲット / 冷陰極HARP撮像板 |
| キーワード(英) | field emitter array / field emission / image sensor / HARP target / Field Emitter Image Sensor / FEIS |
| 資料番号 | ED97-169 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
|---|---|
| 開催期間 | 1997/12/11(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 冷陰極HARP撮像板のビーム特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Beam Characteristics of a Field-emitter Image Sensor with a HARP Target |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 冷陰極アレイ / field emitter array |
| キーワード(2)（和/英） | 電界放出 / field emission |
| キーワード(3)（和/英） | 撮像デバイス / image sensor |
| キーワード(4)（和/英） | HARP方式ターゲット / HARP target |
| キーワード(5)（和/英） | 冷陰極HARP撮像板 / Field Emitter Image Sensor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 難波 正和 / Masakazu Nanba |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science and Technical Research Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 山岸 敏郎 / Toshio Yamagishi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science and Technical Research Laboratories |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 岡崎 三郎 / Saburo Okazaki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science and Technical Research Laboratories |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 谷岡 健吉 / Kenkichi Tanioka |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science and Technical Research Laboratories |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 高山 勝己 / Katsumi Takayama |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 双葉電子工業(株) Research & Development Center, Futaba Corporation |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 田中 満 / Mitsuru Tanaka |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 双葉電子工業(株) Research & Development Center, Futaba Corporation |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 伊藤 茂生 / Shigeo Itoh |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 双葉電子工業(株) Research & Development Center, Futaba Corporation |
| 発表年月日 | 1997/12/11 |
| 資料番号 | ED97-169 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 437 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |