| 講演名 | 2001/12/14 光送受信モジュール用TiNxOy薄膜抵抗内蔵CPSの開発(<特集テーマ>:「LSIシステムの実装・モジュール化, テスト技術, 一般) 渋谷 明信, 松井 孝二, 高橋 和史, 河合 篤宏, |
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| 抄録(和) | 薄膜抵抗材料TiNxOyおよびその内蔵基板プロセスを開発した。TiNxOy薄膜抵抗は反応性スパッタで製造され、スパッタ条件制御により30-5kΩ/□の広い範囲のシート抵抗の調整が可能である。ビルドアップ基板をベースとして、TiNxOy薄膜抵抗とCu配線の選択ウェットエッチングにより抵抗パターンが形成できる低コストプロセスを開発した。これらの技術により光送受信モジュール用CSPを試作した。開発した薄膜抵抗内蔵CSPは52μm幅の配線と90μm×130μmの内蔵終端抵抗を有し、10GHzにおいて十分な伝送特性と終端特性を示した。 |
| 抄録(英) | We have developed new TiNxOy thin-film resistors, as well as a termination resistor-embedded CSP, and a process for fabricating integral passive components. Our TiNxOy films exhibit a sheet resistivity in the range of 30-5k Ω/square. To keep costs low, we have made the fabrication process compatible with that for MCM-D/L. The Chip Scale Package(CSP)with embedded resistors has been designed for 10 Gbps optical transmitter and receiver modules. The CSP has a Cu conductor of 52 μm width. The resistors have a 130 μm length corresponding to the line spacing and 90 μm width. A fabricated version shows excellent return loss for its termination resistor at 10 GHz. |
| キーワード(和) | 窒化チタン / 薄膜 / 抵抗 / ビルドアップ / 受動素子内蔵 / CSP |
| キーワード(英) | titanium nitride / thin-film / resistor / build-up / integral passive component / CSP |
| 資料番号 | CPM-124,ICD-176 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2001/12/14(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 光送受信モジュール用TiNxOy薄膜抵抗内蔵CPSの開発(<特集テーマ>:「LSIシステムの実装・モジュール化, テスト技術, 一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Embedded TiNxOy Thin-Film Resistors in a Build-up CSP for 10 Gbps Optical Transmitter and Receiver Modules |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 窒化チタン / titanium nitride |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜 / thin-film |
| キーワード(3)（和/英） | 抵抗 / resistor |
| キーワード(4)（和/英） | ビルドアップ / build-up |
| キーワード(5)（和/英） | 受動素子内蔵 / integral passive component |
| キーワード(6)（和/英） | CSP / CSP |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 渋谷 明信 / Akinobu SHIBUYA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NEC 機能材料研究所 Functional Materials Research Laboratories, NEC Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松井 孝二 / Koji MATSUI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NEC 機能材料研究所 Functional Materials Research Laboratories, NEC Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 高橋 和史 / Kazufumi TAKAHASHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NEC 光デバイス事業部 Fiber Optic Devices Division, NEC Corporation |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 河合 篤宏 / Atsuhiro KAWATANI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NEC 光デバイス事業部 Fiber Optic Devices Division, NEC Corporation |
| 発表年月日 | 2001/12/14 |
| 資料番号 | CPM-124,ICD-176 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 517 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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