講演名 2001/10/19
CuInS_2薄膜へのGa添加
後藤 寛幸, 岸田 朋丈, 大橋 剛, 橋本 佳男, 伊東 謙太郎,
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抄録(和) Cu/In/Ga金属積層膜に硫化処理を施しCuInS_2薄膜にGaを添加する効果について調べた。Gaの添加量0.01~0.1とし、硫化処理の昇温行程を変えた。Ga源には金属GaとGaSを用いた。X線回折により、金属Gaを添加してもCuInS_2の格子定数のままであることがわかった。Ga/(In+Ga)=0.01で金属Gaを加えるとやや結晶性が向上していた。XPSによる深さ分析の結果、膜中Ga分布は金属Gaを用いると、膜全体に分布しGaS用いた場合とは異なった。そして、表面にできるとされる突起状結晶がGa添加により抑制されることも確認した。
抄録(英) We have studied roles of Ga-doping on CuInS_2 films grown from sulfurization of Cu/In/Ga precursors. Three ramp patterns of sulfurization were studied. Compound GaS as well as metal Ga was used as a Ga source. X-ray diffraction has shown that Ga doping does not change the lattice parameters. Slight amount of Ga(Ga/III=0.01), however, seems to improve the crystalinity of the CuInS_2 film. When the metal Ga is used, Ga distributes from the bottom to the top the resultant CuInS_2 film. This is much different from GaS case. In-rich hillocks are supressed by Ga or GaS doping to the preecursor.
キーワード(和) 太陽電池 / Ga添加 / 硫化処理 / CuInS_2薄膜
キーワード(英) Solar Cell / Ga Doping / Sulphurization / CuInS_2 Thin Film
資料番号 CPM2001-97
発行日

研究会情報
研究会 CPM
開催期間 2001/10/19(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Component Parts and Materials (CPM)
本文の言語 JPN
タイトル(和) CuInS_2薄膜へのGa添加
サブタイトル(和)
タイトル(英) Ga Doping To CuInS_2 Thin Film
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 太陽電池 / Solar Cell
キーワード(2)(和/英) Ga添加 / Ga Doping
キーワード(3)(和/英) 硫化処理 / Sulphurization
キーワード(4)(和/英) CuInS_2薄膜 / CuInS_2 Thin Film
第 1 著者 氏名(和/英) 後藤 寛幸 / Hiroyuki Goto
第 1 著者 所属(和/英) 信州大学工学部
Faculty of Engineering, Shishu University
第 2 著者 氏名(和/英) 岸田 朋丈 / Tomotake Kishida
第 2 著者 所属(和/英) シャープ
SHARP Corporation
第 3 著者 氏名(和/英) 大橋 剛 / Tuyoshi Ohashi
第 3 著者 所属(和/英) 荏原製作所
Ebara Corporation
第 4 著者 氏名(和/英) 橋本 佳男 / Yoshio Hashimoto
第 4 著者 所属(和/英) 信州大学工学部
Faculty of Engineering, Shishu University
第 5 著者 氏名(和/英) 伊東 謙太郎 / Kentaro Ito
第 5 著者 所属(和/英) 信州大学工学部
Faculty of Engineering, Shishu University
発表年月日 2001/10/19
資料番号 CPM2001-97
巻番号(vol) vol.101
号番号(no) 395
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日