| 講演名 | 2001/10/19 2工程以上の化学エッチングプロセスで製造された片面ないし両面溝型共振子 長浦 善昭, 長浦 久美子, 長浦 善一郎, 木下 数博, 永戸 一孝, 江本 恭平, 今仁 和武, 村田 求, 横溝 精一, 中澤 光男, |
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| 抄録(和) | 化学エッチング加工を使用して、2段階形状型をした片面溝型共振子の製作を行なった。その目的は、水晶の異方性を回避して、水晶板の板厚に関係なく、口径比80:1(d/t)をもつ最適な構造の共振子を得ることである。さらに電気的な特性を高めるために、片面に2段階形状の凹形状をした水晶ブランクを、両面研磨盤(ラップ盤)を使用して、上下の両側から圧力をかけて研磨加工することにより、撓みの現象により、凸レンズ形状の片面溝型の水晶共振子を製作することに成功した。 |
| 抄録(英) | We produced two steps shaped single-sided grooved type resonators by chemical etching processes. Its purpose is to avoid anisotropy of quartz-and obtain resonators of optimal structures having an aperture ratio 80 to 1 (d/t) regardless of thickness of quartz wafers. Further, we lapped quartz blanks whose one side are two steps groove shapes with applying pressure on both of their upper and lower sides by using a dual-face lapping machine in order to improve its electrical characteristics, we succeeded in producing convex lens-shape single-sided grooved type quartz resonators by their flexure phenomena. |
| キーワード(和) | 2段階形状型 / 階段形状 / Single-Sided / Double-Sided / Inverted Mesa Type / Grooved Type / Plano-Convex / Concavo-Convex / 凸レンズ形状 |
| キーワード(英) | two steps groove shape / stairway shape / single-Sided / double-sided / inverted Mesa type / grooved type / plano-convex / concavo-convex / convex lens shape |
| 資料番号 | CPM2001-95 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2001/10/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 2工程以上の化学エッチングプロセスで製造された片面ないし両面溝型共振子 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Single-Sided or Double-Sided Grooved Type Resonators Manufactured by Chemical Etching Processes of two or more steps |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 2段階形状型 / two steps groove shape |
| キーワード(2)（和/英） | 階段形状 / stairway shape |
| キーワード(3)（和/英） | Single-Sided / single-Sided |
| キーワード(4)（和/英） | Double-Sided / double-sided |
| キーワード(5)（和/英） | Inverted Mesa Type / inverted Mesa type |
| キーワード(6)（和/英） | Grooved Type / grooved type |
| キーワード(7)（和/英） | Plano-Convex / plano-convex |
| キーワード(8)（和/英） | Concavo-Convex / concavo-convex |
| キーワード(9)（和/英） | 凸レンズ形状 / convex lens shape |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 長浦 善昭 / Yoshiaki Nagaura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 長浦ラボ Nagaura Lab., Inc. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 長浦 久美子 / Kumiko Nagaura |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 長浦ラボ Nagaura Lab., Inc. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 長浦 善一郎 / Zen-ichiro Nagaura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 長浦ラボ Nagaura Lab., Inc. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 木下 数博 / Kazuhiro Kinoshita |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 長浦ラボUSA Nagaura Lab., USA |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 永戸 一孝 / Kazutaka Nagato |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 長浦ラボ Nagaura Lab., Inc. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 江本 恭平 / Kyohei Emoto |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 長浦ラボ Nagaura Lab., Inc. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 今仁 和武 / Kazutake Imani |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 長浦ラボ Nagaura Lab., Inc. |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 村田 求 / Motomu Murata |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 長浦ラボ Nagaura Lab., Inc. |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 横溝 精一 / Seiichi Yokomizo |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 岡山県工業技術センター Industry Technology Center of Okayama Pref. |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 中澤 光男 / Mitzuo Nakazawa |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 信州大学 Shinshu University |
| 発表年月日 | 2001/10/19 |
| 資料番号 | CPM2001-95 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 395 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |