講演名 2001/10/4
InAlGaN4元混晶を用いた330-350nm帯高効率紫外LED
平山 秀樹, 木下 敦寛, 相野谷 誠, 山火 貴義, 山中 卓也, 平田 彰, 青柳 克信,
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抄録(和) 本稿では, 300nm帯の高輝度紫外光素子を実現するためのInAlGaN4元混晶の高品質結晶作製について概説する。我々はAlGaNにInを5%程度含有すると、In組成変調効果によって、300nm帯の紫外領域発光が大幅に増強されることを明らかにした。様々な組成のIn_xAl_yGa_<1-x-y>N4元バルク混晶を作製し、320nm-380nmの紫外波長で、InGaNの青色発光と同等の高輝度が室温において得られた。またIn_xAl_yGa_<1-x-y>N4元混晶を用いた量子井戸を作製し29Onm-390nmの室温高輝度発光を得た。さらにInAlGaNを活性層に用いた紫外LEDを試作し345nmの高輝度発光を得た。これらの結果から、InAlGaN4元混晶は300nm帯の紫外高輝度LED, LDの実現に大変有用であると考えられる。
抄録(英) We report on the growth and optical properties of quatemary InAlGaN for the application of 300-350 nm-band bright ultraviolet(UV)light-emitting diodes(LEDs)or laser diodes(LDs). We demonstrated that the 300-nm-band UV emission is considerably enhanced by the In-segregation effect upon introducing approximately 5% of In into AlGaN. We fabricated ln_Al_Ga_<1-x1-y1>N/In_Al_Ga_<1-x2-y2>N multi-quantum wells(MQWs)with various compositions, and obtained room temperature intense emission in the wavelength of 290-390 nm. The emission from the InAlGaN-based MQWs was as strong as that of blue emission from InGaN-based QWs. We also fabricated UV-LEDs using a quaternary In_<0.05>Al_<0.34>Ga_<0.61>N active region and achieved high-intensity 345 nm emission under R.T.CW operation. The UV intensity from quaternary InAlGaN-LED was more than one order of magnitude larger than that of AlGaN- or GaN-LEDs.
キーワード(和) In_xAlyGa_<1-x-y>N4元混晶 / 紫外高輝度LED / 紫外LD / MOCVD / In組成変調
キーワード(英) quaternary In_xAl_yGa_<1-x-y>N / UV-LEDs / UV-LDs / MOCVD / In-segregation
資料番号 ED2001-134, CPM2001-87
発行日

研究会情報
研究会 CPM
開催期間 2001/10/4(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Component Parts and Materials (CPM)
本文の言語 JPN
タイトル(和) InAlGaN4元混晶を用いた330-350nm帯高効率紫外LED
サブタイトル(和)
タイトル(英) High-Efficiency 330-350nm UV-LEDs Using Quaternary InAlGaN
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) In_xAlyGa_<1-x-y>N4元混晶 / quaternary In_xAl_yGa_<1-x-y>N
キーワード(2)(和/英) 紫外高輝度LED / UV-LEDs
キーワード(3)(和/英) 紫外LD / UV-LDs
キーワード(4)(和/英) MOCVD / MOCVD
キーワード(5)(和/英) In組成変調 / In-segregation
第 1 著者 氏名(和/英) 平山 秀樹 / Hideki HIRAYAMA
第 1 著者 所属(和/英) 理化学研究所 半導体工学研究室
RIKEN(The Institute of Physical and Chemical Research)
第 2 著者 氏名(和/英) 木下 敦寛 / Atsuhiro KINOSHITA
第 2 著者 所属(和/英) 早稲田大学理工学部応用化学科
Department of Chemical Engineering, Waseda University
第 3 著者 氏名(和/英) 相野谷 誠 / Makoto AINOYA
第 3 著者 所属(和/英) 早稲田大学理工学部応用化学科
Department of Chemical Engineering, Waseda University
第 4 著者 氏名(和/英) 山火 貴義 / Takayoshi YAMABI
第 4 著者 所属(和/英) 早稲田大学理工学部応用化学科
Department of Chemical Engineering, Waseda University
第 5 著者 氏名(和/英) 山中 卓也 / Takuya YAMANAKA
第 5 著者 所属(和/英) 早稲田大学理工学部応用化学科
Department of Chemical Engineering, Waseda University
第 6 著者 氏名(和/英) 平田 彰 / Akira HIRATA
第 6 著者 所属(和/英) 早稲田大学理工学部応用化学科
Department of Chemical Engineering, Waseda University
第 7 著者 氏名(和/英) 青柳 克信 / Yoshinobu AOYAGI
第 7 著者 所属(和/英) 理化学研究所 半導体工学研究室
RIKEN(The Institute of Physical and Chemical Research)
発表年月日 2001/10/4
資料番号 ED2001-134, CPM2001-87
巻番号(vol) vol.101
号番号(no) 338
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日