| 講演名 | 2001/5/18 リンとボロンの拡散シミュレーションにおけるパラメータの最適化 飯田 大介, 浅井 寛, 内田 秀雄, 市村 正也, 荒井 英輔, |
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| 抄録(和) | 不純物拡散シミュレータ (TSUPREM-4) を用いて、850℃及び960℃の実験で得られたリンとボロンにおけるバルクSi基板中のプリデポジション拡散分布への合わせ込みを行った。シミュレータのパラメータがデフォルト値では, 実験値との間に大きなずれが生じた。そのため、リンとポロンそれぞれについて格子間Si機構で拡散する割合fiと格子間Siと不純物との対の拡散係数に注目し、そのパラメータを変化させることによってどの程度実験値に近づけられるか検討した。また、変化後のパラメータを使用してドライブイン拡散及び貼り合わせSOI基板に対しても同様のシミュレーションを行い、それらのパラメータの妥当性を評価した。 |
| 抄録(英) | We carried out parameter fitting to measured phosphorus and boron predeposition profiles in bulk silicon, using process simulation (TSUPREM-4). When diffusion parameters are default coefficients, we found deviation of simulated results from measured profiles. For improvement of the simulated results, we changed the simulation parameter of f_ |
| キーワード(和) | 拡散シミュレーション / リン / ボロン / 格子間Si / SOI基板 |
| キーワード(英) | Diffusion simulation / Phosphorus / Boron / Interstitial silicon / SOI |
| 資料番号 | ED2001-37,CPM2001-24,SDM2001-37 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2001/5/18(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | リンとボロンの拡散シミュレーションにおけるパラメータの最適化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Optimization of Simulation Parameters for Phosphorus and Boron Diffusion |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 拡散シミュレーション / Diffusion simulation |
| キーワード(2)（和/英） | リン / Phosphorus |
| キーワード(3)（和/英） | ボロン / Boron |
| キーワード(4)（和/英） | 格子間Si / Interstitial silicon |
| キーワード(5)（和/英） | SOI基板 / SOI |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 飯田 大介 / Daisuke Iida |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学電気情報工学料 Department of Electrical and Computer Engineering, Nagoya Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 浅井 寛 / Hiroshi Asai |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学電気情報工学料 Department of Electrical and Computer Engineering, Nagoya Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 内田 秀雄 / Hideo Uchida |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学電気情報工学料 Department of Electrical and Computer Engineering, Nagoya Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 市村 正也 / Masaya Ichimura |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学電気情報工学料 Department of Electrical and Computer Engineering, Nagoya Institute of Technology |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 荒井 英輔 / Eisuke Arai |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学電気情報工学料 Department of Electrical and Computer Engineering, Nagoya Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2001/5/18 |
| 資料番号 | ED2001-37,CPM2001-24,SDM2001-37 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 81 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |