| 講演名 | 2000/8/0 EMD2000-43 / CPM2000-58 / OPE2000-55 / LQE2000-49 石英と多結晶シリコンから成る低損失LPSの作製 堀江 晴彦, 室 幸市, 依田 秀彦, 白石 和男, |
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| 抄録(和) | 多結晶シリコンと石英から成り20°以上の大きな偏光分離角を持つ、積層形偏光分離素子用(LPS)多層膜の低損失化を検討した。基板温度、1層当りの膜厚、スパッタリング時のArガス圧についての検討を行った。その結果、吸収と散乱による損失を低減できる最適成膜パラメータを見出し、0.24dB/100μmの低損失多層膜を得ることができた。 |
| 抄録(英) | We investigated the fabrication process for low-loss laminated polarization splitters that consist of alternately laminated poly-Si and silica layers having a beam-splitting angle of more than 20°. Deposition conditions in the rf sputtering process, such as substrate temperature, film thickness per layer, and Ar gas pressure are investigated. We found the optimum deposition condition that serves to reduce losses due to absorption and scattering. As the result, a low-loss multilayer film that has an optical loss of 0.24dB/100μm has been obtained. |
| キーワード(和) | 積層形偏光分離素子 / 多結晶シリコン / 交互多層膜 / スパッタリング |
| キーワード(英) | laminated polarization splitters / poly-silicon / multilayer films / sputtering |
| 資料番号 | EMD2000-43,CPM2000-58,OPE2000-55,LQE2000-49 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2000/8/0(から1日開催) |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | EMD2000-43 / CPM2000-58 / OPE2000-55 / LQE2000-49 石英と多結晶シリコンから成る低損失LPSの作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | EMD2000-43 / CPM2000-58 / OPE2000-55 / LQE2000-49 Fabrication of low loss laminated polarization splitters comprising consists of poly-silicon and silica layers |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 積層形偏光分離素子 / laminated polarization splitters |
| キーワード(2)（和/英） | 多結晶シリコン / poly-silicon |
| キーワード(3)（和/英） | 交互多層膜 / multilayer films |
| キーワード(4)（和/英） | スパッタリング / sputtering |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 堀江 晴彦 / Haruhiko Horie |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学工学部 Faculty of Engineering, Utsunomiya University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 室 幸市 / Kouichi Muro |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学工学部 Faculty of Engineering, Utsunomiya University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 依田 秀彦 / Hidehiko Yoda |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学工学部 Faculty of Engineering, Utsunomiya University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 白石 和男 / Kazuo Shiraishi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学工学部 Faculty of Engineering, Utsunomiya University |
| 発表年月日 | 2000/8/0 |
| 資料番号 | EMD2000-43,CPM2000-58,OPE2000-55,LQE2000-49 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 260 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |