| 講演名 | 2000/6/30 US2000-31 / EMD2000-27 / CPM2000-42 / OME2000-37 水晶振動子ガスセンサ応答解析 斎藤 敦史, 野村 徹, 浅利 征宏, |
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| 抄録(和) | 水晶振動子ガスセンサの応答波形を時系列解析することで、センサのガス分子吸着特性の数値化を試みた。ここでは、センサ表面へのガス分子吸着過程をLangmuir吸着理論を元にモデル化し、吸着過程式を導いた。得られた吸着過程式と実際のセンサ応答波形データとを最小二乗法によりカーブフィットをおこない、センサ応答波形を十分に表せることを示した。また、解析の結果得られる式中のパラメータは、感応膜のガス分子吸着特性を表す数値となる。より詳細な検討が必要であるが、解析結果を用いることで感応膜の吸着特性を数値化できるものと思われる。 |
| 抄録(英) | Gas molecule adsorption characteristics of a sensing film on Quartz Crystal Microbalance gas sensor were tried to make to the numerical value by analyzing the time series data of the sensor response. Gas molecule adsorption process to the sensing film was modeled based on the Langmuir adsorption theory, and an equation expressed the process was led. Curve fit between the obtained equation and measured actual sensor response was done by the least square method. It was shown to be able to express the sensor response by the equation, enough. And, the parameters obtained as a result of the analysis become the numerical value which showed the gas molecule adsorption characteristic of the sensing film. |
| キーワード(和) | 水晶振動子 / ガスセンサ / 応答解析 |
| キーワード(英) | Quartz Crystal Resonator / Gas Sensor / Response Analysis |
| 資料番号 | US2000-31,EMD2000-27,CPM2000-42,OME2000-37 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2000/6/30(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | US2000-31 / EMD2000-27 / CPM2000-42 / OME2000-37 水晶振動子ガスセンサ応答解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study of Analysis of Gas Sensor Response based on Quartz Crystal Microbalance |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 水晶振動子 / Quartz Crystal Resonator |
| キーワード(2)（和/英） | ガスセンサ / Gas Sensor |
| キーワード(3)（和/英） | 応答解析 / Response Analysis |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 斎藤 敦史 / Atsushi Saitoh |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部通信工学科 Shibaura Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 野村 徹 / Tooru Nomura |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部通信工学科 Shibaura Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 浅利 征宏 / Yukihiro Asari |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部通信工学科 Shibaura Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2000/6/30 |
| 資料番号 | US2000-31,EMD2000-27,CPM2000-42,OME2000-37 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 166 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |