| 講演名 | 2000/6/16 CPM2000-33 室内環境汚染物質計測用マイクロセンサの開発 横山 達也, 原 和裕, |
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| 抄録(和) | 本研究では、室内環境汚染物質であるホルムアルデヒド、トルエン、キシレン、及び、汚染ガス(NOx, CO等)、を検知するセンサを開発した。マイクロセンサはダイアフラム構造としたSi基板上に、IC製造技術、マイクロマシーニング技術を応用した工程で作製した。感応膜は、1層目がFe_2O_3系薄膜、2層目がSnO_2系薄膜の多層構造とした。マイクロヒータもダイアフラム構造としたSi基板上に作成し、マイクロセンサと対向させた。 |
| 抄録(英) | We have fabricated a microsensor for the measurement of indoor environmental pollutions. It is fabricated on a diaphragm on an Si substrate by using thin film technology, IC fabrication process, and micro-machining technique. The sensing layer has a double layer structure; the first layer is a thin-film composed of Fe_2O_3-based material and the second layer is a thin film composed of SnO_2-based material. A microheater is also fabricated on a diaphragm on a Si substrate in the same way, being placed near the microsensor in a parallel position. |
| キーワード(和) | 環境計測 / 室内環境汚染 / マイクロセンサ / 酸化物半導体センサ |
| キーワード(英) | Environmental measurement / Indoor environmental pollutions / microsensor / oxide semiconductor sensor |
| 資料番号 | CPM2000-33 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2000/6/16(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | CPM2000-33 室内環境汚染物質計測用マイクロセンサの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of a microsensor for the measurement of indoor environmental pollutions |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 環境計測 / Environmental measurement |
| キーワード(2)（和/英） | 室内環境汚染 / Indoor environmental pollutions |
| キーワード(3)（和/英） | マイクロセンサ / microsensor |
| キーワード(4)（和/英） | 酸化物半導体センサ / oxide semiconductor sensor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 横山 達也 / Tatsuya Yokoyama |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京電機大学工学部 College of Engineering, Tokyo Denki University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 原 和裕 / Kazuhiro Hara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京電機大学工学部 College of Engineering, Tokyo Denki University |
| 発表年月日 | 2000/6/16 |
| 資料番号 | CPM2000-33 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 141 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |