講演名 | 1998/11/6 三元混晶GaInNの結晶学的及び光学的評価 新田 州吾, 苅谷 道彦, 山口 栄雄, 竹内 哲也, 天野 浩, 赤崎 勇, |
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抄録(和) | GaN上に成長した三元混晶GaInNの組成と膜厚を変化させ, 結晶学的及び光学的特性の変化について評価を行った.X線回折によりモザイク性のチルトとツイストを測定し, 巨視的結晶性を評価した.また, 顕微フォトルミネッセンスによる発光ピーク波長マッピングの測定から組成ゆらぎの評価を行った.以上の結果, 組成ゆらぎは非常に小さく, むしろモザイク性や表面ラフネスの増大が大きいことが解った. |
抄録(英) | The crystalline and optical properties of ternary GaInN was elucidated with varying the composition and thickness. To characterize macroscopic crystalline quality we measured the tilt and twist using X-ray diffraction. Furthermore we performed micro-PL measurement for the observation of the compositional fluctuation from radiative peak wavelength. From above, we found the mosaicity and roughness are large rather than the compositional fluctuation. |
キーワード(和) | GaInN / モザイク性 / チルトとツイスト / 組成不均一性 / 顕微PL |
キーワード(英) | GaInN / mosaicity / tilt and twist / compositional fluctuation / micro-PL |
資料番号 | ED98-139,CPM98-142 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | CPM |
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開催期間 | 1998/11/6(から1日開催) |
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幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 三元混晶GaInNの結晶学的及び光学的評価 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Characterization of crystalline and optical properties of ternary GaInN |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | GaInN / GaInN |
キーワード(2)(和/英) | モザイク性 / mosaicity |
キーワード(3)(和/英) | チルトとツイスト / tilt and twist |
キーワード(4)(和/英) | 組成不均一性 / compositional fluctuation |
キーワード(5)(和/英) | 顕微PL / micro-PL |
第 1 著者 氏名(和/英) | 新田 州吾 / Shugo NITTA |
第 1 著者 所属(和/英) | 名城大学理工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Meijo University |
第 2 著者 氏名(和/英) | 苅谷 道彦 / Michihiko KARIYA |
第 2 著者 所属(和/英) | 名城大学理工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Meijo University |
第 3 著者 氏名(和/英) | 山口 栄雄 / Shigeo YAMAGUCHI |
第 3 著者 所属(和/英) | 名城大学理工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Meijo University |
第 4 著者 氏名(和/英) | 竹内 哲也 / Tetsuya TAKEUCHI |
第 4 著者 所属(和/英) | 名城大学理工学部電気電子工学科 Department of Electronical and Electric Engineering, Meijo University |
第 5 著者 氏名(和/英) | 天野 浩 / Hiroshi AMANO |
第 5 著者 所属(和/英) | 名城大学理工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Meijo University |
第 6 著者 氏名(和/英) | 赤崎 勇 / Isamu AKASAKI |
第 6 著者 所属(和/英) | 名城大学理工学部電気電子工学科 Department of Electronical and Electric Engineering, Meijo University |
発表年月日 | 1998/11/6 |
資料番号 | ED98-139,CPM98-142 |
巻番号(vol) | vol.98 |
号番号(no) | 386 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 5 |
発行日 |