| 講演名 | 1998/11/6 ZnO/Si基板上および石英ガラス基板上多結晶GaNの結晶構造と発光特性 村田 直也, 栃下 光, 荒木 努, 門田 道雄, 名西 [やす]之, |
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| 抄録(和) | ECR-MBE法を用いてZnO/Si基板上及び石英ガラス基板上にGaN成長を行った。両基板上GaNはc軸配向した多結晶に成長し、多結晶GaNからは六方晶GaNのバンド端付近からの発光と思われるフォトルミネッセンス(PL)ピークを観測した。また多結晶GaNからのPL発光強度は本研究室で成長させたサファイアc面基板上GaNからの発光強度よりも強い値を示した。これらの多結晶GaNの構造評価を行い、その構造と発光特性との関係を検討した。その結果c軸配向性が発光強度に強く影響を及ぼすことを明らかにした。 |
| 抄録(英) | GaN films were grown on a ZnO/Si and a silica glass substrate by electron-cyclotron-resonance plasma-excited molecular beam epitaxy(ECR-MBE). GaN films grown on both substrates were c-axis oriented polycrystalline and showed strong photoluminescence(PL). The PL peak position was near-band-edge emission of hexagonal GaN and the PL intensity was stronger than that of GaN grown on sapphire substrate. The relationship between crystal structure and optical property of polycrystalline GaN are investigated. As a result, it is concluded that c-axis orientation of polycrystalline GaN are closely related to the PL intensity. |
| キーワード(和) | GaN / ECR-MBE / ZnO/Si基板 / 石英ガラス基板 / 多結晶 / c軸配向 |
| キーワード(英) | GaN / ECR-MBE / ZnO/Si substrate / silica glass substrate / polycrystalline / c-axis orientation |
| 資料番号 | ED98-135,CPM98-138 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 1998/11/6(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ZnO/Si基板上および石英ガラス基板上多結晶GaNの結晶構造と発光特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Crystal structure and optical property of polycrystalline GaN grown on ZnO/Si and silica glass substrate |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | GaN / GaN |
| キーワード(2)（和/英） | ECR-MBE / ECR-MBE |
| キーワード(3)（和/英） | ZnO/Si基板 / ZnO/Si substrate |
| キーワード(4)（和/英） | 石英ガラス基板 / silica glass substrate |
| キーワード(5)（和/英） | 多結晶 / polycrystalline |
| キーワード(6)（和/英） | c軸配向 / c-axis orientation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 村田 直也 / Naoya Murata |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 立命館大学大学院理工学研究科 Faculty of Science and Engineering, Ritsumeikan University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 栃下 光 / Hikari Tochishita |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 立命館大学大学院理工学研究科 Faculty of Science and Engineering, Ritsumeikan University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 荒木 努 / Tsutomu Araki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 立命館大学大学院理工学研究科 Faculty of Science and Engineering, Ritsumeikan University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 門田 道雄 / Michio Kadota |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 村田製作所 Murata Manufacturing Company. Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 名西 [やす]之 / Yasushi Nanishi |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 立命館大学大学院理工学研究科 Faculty of Science and Engineering, Ritsumeikan University |
| 発表年月日 | 1998/11/6 |
| 資料番号 | ED98-135,CPM98-138 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 386 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |