| 講演名 | 1998/10/30 高配向性カーボン薄膜の生成とその諸特性 Oo Myo Than, 松元 裕次, 中尾 眞人, 上村 喜一, 小沼 義治, |
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| 抄録(和) | 本研究では、通常の直流マグネトロンスパッタ装置にタングステン製熱フィラメントを設置することによって、高い配向性を持つカーボン薄膜を得た。熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド薄膜の合成と異なり、スパッタガスとしてアルゴンのみを使用し、水素は使用していない。生成されたカーボン薄膜をXRD、XPS、TEM、TED測定により評価した。XRDより、結晶化したカーボン薄膜が得られたことを確認できた。XPSプロファイルより、炭素原子が薄膜中の90%以上を占めている事が分かった。また、TEMとTEDより、多結晶炭素薄膜と繊維状炭素結晶の薄膜が混在していることが観察された。 |
| 抄録(英) | Highly oriented crystalline carbon thin films were obtained using a DC magnetron sputtering system with a tungsten hot filament. Differing from the chemical vapor deposition method using hydrogen as a carrier gas with a hot filament, only pure argon gas was employed. The crystal structure of the carbon thin films was investigated by XRD, XPS, TEM, TED analysis. According to XRD analysis, it was confirmed that the crystalized carbon thin films were obtained. While XPS profiles show the contents of the films which were formed by more than 90% of carbon atoms. As the results of the observation by using TEM and TED analysis, it was revealed that crystalline carbon films consisted of nano crystal grains and nano fibers. |
| キーワード(和) | カーボン薄膜 / タングステン製熱フィラメント / 多結晶 / 繊維状炭素結晶 |
| キーワード(英) | carbon thin films / tungsten hot filament / nano crystal grains / nano fibers |
| 資料番号 | CPM98-126 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 1998/10/30(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 高配向性カーボン薄膜の生成とその諸特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation and properties of highly crystalline carbon thin films |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | カーボン薄膜 / carbon thin films |
| キーワード(2)（和/英） | タングステン製熱フィラメント / tungsten hot filament |
| キーワード(3)（和/英） | 多結晶 / nano crystal grains |
| キーワード(4)（和/英） | 繊維状炭素結晶 / nano fibers |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | Oo Myo Than / Myo Than Oo |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松元 裕次 / Y. Matsumoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中尾 眞人 / M. Nakao |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 上村 喜一 / K. Kamimura |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 小沼 義治 / Y. Onuma |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 発表年月日 | 1998/10/30 |
| 資料番号 | CPM98-126 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 377 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 7 |
| 発行日 | |